Contrômetro de medição 3D

Contrômetro de medição 3D

Contrômetro de medição 3D

A micromedição de superfície tridimensional e a avaliação da rugosidade são amplamente usadas em áreas como processamento de precisão, processamento de semicondutores e análise de materiais.

Vantagens

√Resolução longitudinal sub-nanométrica para análises de medição de superfícies suaves

√Simples, preciso, rápido e repetitivo

√Modos de medição ricos suportam diferentes2D / 3DNecessidades de medição

função

√Medição sem contato da rugosidade tridimensional da superfície

√Medição da estrutura tridimensional microscópica da superfície

√Medição e análise da espessura da membrana

√Medição espectral de microreflexão(escolher)

Objeto aplicável

Componentes ópticos de precisão, dispositivos de processamento nanométrico, peças de processamento de máquinas metálicas, wafers, etc.

Princípio de medição

√Princípio de micromedição de interferência de luz branca: a combinação de interferência de luz não coerente e tecnologia de microimagem de alta resolução para formar um microscópioContorno tridimensional com diferentes lentes de ampliação de medição e resolução de medição longitudinal de tamanho sub-nanométrico

√Microespectrometria: o módulo espectral opcional permite a espectrometria da microárea da superfície e a medição da espessura da membrana

Casos de teste