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Empresa conjunta China-EUA Hefei 科晶材料技术有限公司
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    18255163376

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    No. 10, Academia de Ciências, Distrito de Shushan, Hefei, província de Anhui

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Forno de tubo CVD rotativo de 5 polegadas

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Visão geral
O OTF-1200X-5L-R-CVD é um forno rotativo CVD. O corpo do forno tem 3 áreas de aquecimento para melhorar a uniformidade da temperatura e é equipado com um sistema de mistura de gás de precisão de 4 canais. Este forno tubular é projetado principalmente para revestimento de superfície de materiais em pó de bateria ou modificação de superfície de outros materiais em pó. Artigos relacionados ao equipamento (clique para ver)
Detalhes do produto

O OTF-1200X-5L-R-CVD é um forno rotativo CVD. O corpo do forno tem 3 áreas de aquecimento para melhorar a uniformidade da temperatura e é equipado com um sistema de mistura de gás de precisão de 4 canais. Este forno tubular é projetado principalmente para revestimento de superfície de materiais em pó de bateria ou modificação de superfície de outros materiais em pó.Artigos relacionados ao equipamento (clique para ver)

Parâmetros técnicos

Estrutura do forno

  • Estrutura de caixa de duas camadas com sistema de refrigeração a ar
  • O uso de óxido de alumínio de alta pureza como material de forno pode reduzir significativamente a perda de energia
  • O motor de corrente contínua impulsiona a rotação do tubo de quartzo com velocidades de 0 a 10 RPM
  • Ángulo de inclinação do forno de 30°
  • O forno é projetado como aberto para facilitar a operação e o resfriamento rápido das amostras

Área de aquecimento

  • Comprimento total de três zonas de temperatura: 600mm
  • Zona de temperatura 1: 150 mm (6')
  • Zona de temperatura 2: 300 mm (12')
  • Zona de temperatura 3: 150 mm (6')
  • Zona de temperatura constante: 450 mm @ +/-2 ° C (três zonas de temperatura definir a mesma temperatura)

  • O instrumento contém um tubo de quartzo
  • 尺寸: 130 mm D.O. x 120 mm D.I. x 1200 mm L + 60O.D.mm (diâmetro em ambas as extremidades)
  • O instrumento inclui um conjunto de flanges de vácuo de aço inoxidável (válvula de agulha de aço inoxidável já instalada acima)

Conexões

  • Interface de entrada de ar: interface do cartão Φ6.35
  • Conexão de saída: Conexão de boca da torre Φ12

Temperatura de funcionamento

  • Temperatura de uso contínuo: 1100 ℃
  • Alta temperatura de funcionamento: 1200 ℃ < 1 h

Sistema de controle de temperatura

  • Três zonas de temperatura são controladas independentemente por três sistemas de controle de temperatura, todos são ajustados pelo modo PID, pode configurar o programa de refrigeração de 30 litros
  • O forno está instalado com uma interface RS485, módulo de controle de temperatura opcional, uso de computador para controlar o aquecimento do forno

Termoparo

  • Três termopares Omega K

真空泵和冷井

  • Bomba de vácuo bipolar rotativa com filtro de neblina de óleo
  • Pode ser comprado um poço frio para evitar que os sedimentos danifiquem a bomba de vácuo durante os experimentos

Sistema de abastecimento de gás

  • Sistema de controle de gás de precisão de 4 canais, com medidor de fluxo de massa, controle de tela táctil, que pode entrar simultaneamente em 1-4 tipos de gás diferentes
  • Nota: Se o acesso é de gás inflamável e explosivo, o dispositivo deve ser instalado em um armário de ventilação.

Zui alta potência

4kw

tensão

208 - 240V monofásico (requer interruptor de ar de 30 A)

Garantia

Garantia de um ano, manutenção ao longo da vida (excluindo tubos de forno, aneis de vedação e elementos de aquecimento)

Certificação de Qualidade

  • Certificação CE
  • Todos os componentes elétricos (> 24V) são certificados UL / MET / CSA
  • Se o cliente pagar uma taxa de certificação, a empresa garante que um único dispositivo passa pela certificação TUV ou CAS alemã

Peso líquido

130 kg

Atenção à aplicação

  • Este equipamento pode ser combinado com o nosso dispositivo de alimentação contínua para alcançar o efeito da alimentação contínua

Aviso

  • A pressão no forno não deve ser superior a 0,02 MPa
  • Devido à alta pressão interna do cilindro de gás, então, quando o gás entra no tubo do forno, a válvula de redução de pressão deve ser instalada no cilindro de gás, é recomendado comprar uma válvula de redução de pressão na nossa empresa, a escala da válvula de redução de pressão da nossa empresa é de 0,01 MPa-0,1 MPa, quando usado será mais preciso e seguro
  • Quando a temperatura do corpo do forno é superior a 1000 ° C, o tubo do forno não pode estar em estado de vácuo, a pressão do ar no tubo do forno deve ser igual à pressão atmosférica e manter-se no estado de pressão normal
  • O fluxo de gás no tubo do forno deve ser inferior a 200SCCM para evitar o impacto do fluxo atmosférico frio no tubo de quartzo aquecido
  • Temperatura de uso prolongado de tubos de quartzo <1100 ℃
  • Para experimentos de aquecimento de amostras, não é recomendado fechar a válvula de bombeamento e a válvula de admissão da flanja do tubo do forno. Se for necessário fechar a válvula de ar para aquecimento da amostra, você deve sempre prestar atenção ao mostrador do medidor de pressão, se a expressão da pressão do ar for maior que 0,02 MPa, a válvula de escape deve ser aberta imediatamente para evitar acidentes (como quebra do tubo do forno, flange voando, etc.)