AIXTRON Termômetro de plataforma EX-C-7FL

NegociávelAtualização em05/07

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Visão geral

O termometro de plataforma AIXTRON EX-C-7FL é um termometro de alta precisão de tubo de zafiro produzido pela BASF, usado como um sistema de medição de temperatura na parte inferior da plataforma AIXTRON G3, G4 e G5 MOCVD (MONITOR DE TEMPERATURA DE BOTO).

Detalhes do produto

Características principais

Medição de baixa temperatura com ondas curtas	Alta precisão, resolução até 0,01 ºC, precisão de medição de temperatura 1,5 ºC
Repetibilidade de medição de temperatura 0,1 ºC, temperatura não superior a 0,1 ºC / ano	Velocidades de medição de até 1.000 valores/s
Saída digital/analógica para fácil integração no sistema de controle

Descrição detalhada

AIXTRON Termômetro de plataforma EX-C-7FLO termometro fototubular de safiro de alta precisão produzido pela BASF é usado como um sistema de medição de temperatura no fundo da plataforma AIXTRON G3, G4 e G5 MOCVD (MONITOR DE TEMPERATURA DO BOTO).

AIXTRON Termômetro de plataforma EX-C-7FLContém o sensor EI110, fibra óptica, tubo óptico de zafiro, módulo digital IFD5, módulo analógico IFA5, cabo de apoio, etc., a gama de medição de temperatura cobre 100-1800 ° C, precisão de até 1,5 ° C, repetibilidade de 0,1 ° C.

BASF Exactus ® Série de termômetrosTem sido amplamente utilizado em processos de semicondutores como recolha rápida, oxidação rápida e deposição de película fina, e foi integrado em vários dispositivos MOCVD e outros dispositivos RTP como: AIXTRON, LPE, Premtek, etc. Além disso, devido à sua alta precisão e estabilidade de medição da temperatura, ele também é usado como padronizador de temperatura por alguns fabricantes de fornos de alta temperatura, como a Thermogauge.

Aplicações típicas

Controle de temperatura RTP	Controle de temperatura MOCVD
Temperatura MBE	Normador de temperatura

Parâmetros técnicos

Parâmetros de medição
Faixa de temperatura:	100 – 1800℃
Comprimento de onda de trabalho:	1550 nm
Precisão da medição:	Melhor que 1,5 ° C ou 0,15% de medição
Resolução:	最高0.01℃
Precisão de repetição:	0.1℃
Deslocamento de temperatura:	Máximo 0,10 ℃ / ano Ambiente: 0,05 ℃ / ℃ @ 20-45 ℃, 0,10 ℃ / ℃ @ outras temperaturas
Lente:	Tubo de luz de safir

Parâmetros Físicos
Alimentação:	12-28 VDC, 3W
Temperatura de armazenamento:	-20 a 70 ℃
Temperatura ambiente:	Dispositivos eletrônicos: 0 - 60 ℃ Lente específica em ambientes difíceis: 0 - 250 ℃ Fibra óptica de alta temperatura: 0 - 250 ℃
Material da carcaça:	Sensor e caixa da lente, aço inoxidável 304 / alumínio; carcaça de sopro de ar, alumínio; Lente para ambientes difíceis: aço inoxidável 304;
Peso:	Termômetro padrão, 0,510 kg (1,125 lbs.) Sensor de fibra óptica, 0,198 kg (7 oz.)

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