Termômetro de plataforma LPE EX-S-3FP

Características principais

Descrição detalhada

Termômetro de plataforma LPE EX-S-3FPProdutos de alta temperatura da série BASF EXACTUS, BASF Exactus ® A tecnologia de infravermelho original tem muitas vantagens no controle da uniformidade da temperatura e da espessura da película entre os wafers: a eletrônica altamente sensível e a excelente tecnologia óptica significam que a energia de radiação pode ser medida com detectores de comprimentos de onda mais curtos, o que reduz os erros causados ​​pela transmissão e emissão dos wafers. Além disso, a medição de alta velocidade e a alta resolução garantem um excelente desempenho no controle da temperatura e na supressão do ruído, proporcionando um melhor monitoramento da temperatura do wafer e processos de produção.

BASF Exactus ® A série de equipamentos de medição de temperatura tem sido amplamente usada em processos de semicondutores como recolha rápida, oxidação rápida e deposição de película fina e está integrada em vários equipamentos MOCVD e outros equipamentos RTP, como AIXTRON, LPE, Premtek, etc. Além disso, devido à sua alta precisão e estabilidade de medição da temperatura, ele também é usado como padronizador de temperatura por alguns fabricantes de fornos de alta temperatura, como a Thermogauge.

Termômetro de plataforma LPE EX-S-3FPO conjunto completo inclui sensor EI110, fibra óptica, módulo digital IFD5, módulo analógico IFA5, caneta laser verde, cabo de acompanhamento e suporte de montagem correspondente. Precisão até 1,5 ° C, repetibilidade 0,1 ° C.

Aplicações típicas

Parâmetros técnicos