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Pequim Huacheng Electronics Co., Ltd.
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Pequim Huacheng Electronics Co., Ltd.

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Válvula de borboleta BV300

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Visão geral

A válvula de borboleta BV300 é amplamente utilizada em semicondutores, displays de placa plana, energia solar de silicio cristalino e processos industriais para controlar a pressão a jusante em câmaras e pode ser personalizada para atender às necessidades de controle rápido de pressão em condições de processo exigentes.

Detalhes do produto

Pontos de inovação

Tecnologia de sensor de pressão dupla

Suporta a captação de sinais de regulador de vácuo de duas vias, compatível com alimentação de regulador de vácuo de ±15V ou +24V, para alternar automaticamente o alcance de acordo com as necessidades do processo.

Tecnologia de controle de pressão L-V-P

A unidade de controle de pressão registra a pressão e a relação de abertura da válvula no ambiente de processo, usando a combinação de posição, velocidade e anéis de pressão para realizar simultaneamente o cálculo dinâmico da proporção de nível de pressão, a proporção de nível de pressão, a posição da pressão alvo e o tempo de estimação da pressão alvo para atingir a variação da abertura da válvula para obter uma pressão de controle rápida e estável.

Tecnologia funcional de autoaprendizagem

Suporta a função de auto-aprendizagem que se adapta a diferentes sistemas de vácuo de câmara e diferentes condições de trabalho para um controle rápido e preciso da pressão.

Tecnologia de servomoção

Adotando um sistema de carga de servocontrol personalizado, o algoritmo de controle de inclinação múltipla permite um posicionamento mais rápido da borboleta e um tempo de resposta do interruptor de até 0,2 s.

Área de aplicação

Semicondutores - Circuitos Integrados

Semicondutores - Embalagem

Display semicondutor

Iluminação semicondutora

Semicondutores - Sistemas Micromecânicos

Semicondutores de potência

Semicondutores compostos

Indicadores técnicos

modelo o BV300
Forma e tamanho da interface de flange ISO-KF: DN40, DN50; ISO-F: DN63, DN80, DN100, DN160 e DN200
Taxa de vazamento 1 × 10E-9 mbar l/s
Faixa de pressão (20°C) 1 × 10E-8mbar-1.2bar (abs)
Precisão de controle de pressão 5 mV or 0.1%of setpoint, Toma os dois.
Sinal de entrada do sensor 0-10VDC
material Corpo da válvula / placa da válvula: 316L / alumínio; Anel de vedação: borracha fluorada / perfluorado
Resolução de localização 12800 (ângulo de 90°)
Tempo de resposta Modelo não selado: interruptor 0.2S; Modelo selado: interruptor 0.6S
Interface de comunicação D-Sub, DB-25 Feminino, RS422/RS485, RS232, DeviceNet, EtherCAT
Interface de alimentação D-Sub, DA-15 macho, +24 VDC (±10%) @ 0,5 V pk-pk máximo
Interface de regulador de vácuo (interface de sensor) D-Sub, DA-15 fêmea
Temperatura ambiente de funcionamento 0 ℃ a +50 ℃ max. (recomendado < 35 ℃)
Localização da instalação Montagem horizontal e vertical

Atenção:

A fábrica de válvulas de borboleta geralmente calibra o sinal do sensor com a tensão

A unidade de pressão do gás é Torr; mbar (milímetros)

O estado padrão é especificado como: temperatura - 273,15 K (0 ° C); Pressão atmosférica: 101325 Pa (760mm Hg)

F.S. (Full Scale): valor de escala completa. S.P. (Set Point): Definição do ponto