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Hefei Chenyuan Engenharia de Automação Co., Ltd.
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Medidor de fluxo por ultra-som da série UFM400 para equipamentos CMP

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O medidor de fluxo por ultra-som da série UFM400 para equipamentos CMP $r$nCMP, ou seja, polimento químico-mecânico, é uma tecnologia para moer e polir com precisão a superfície de uma placa de silício através de uma combinação química e mecânica. É a base de hardware desta tecnologia que permite a planejamento global da superfície da placa de silício, fornecendo uma boa base para o processo subsequente. Os equipamentos CMP são equipamentos de processo chave no campo da fabricação de semicondutores.

Detalhes do produto

Medidor de fluxo por ultra-som da série UFM400 para equipamentos CMP

Os conceitos básicos do polimento químico mecânico (CMP):

CMP, O polimento químico-mecânico é uma técnica para moer e polir com precisão a superfície de uma placa de silício por meio de uma combinação química e mecânica. É a base de hardware desta tecnologia que permite a planejamento global da superfície da placa de silício, fornecendo uma boa base para o processo subsequente. Os equipamentos CMP são equipamentos de processo chave no campo da fabricação de semicondutores.

Medidor de fluxo por ultra-som da série UFM400 para equipamentos CMP

CMP设备专用流量计UFM400系列超声波流量计


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