Design de oficina biolimpa

O projeto de oficina de limpeza biológica é comumente conhecido como oficina sem poeira, oficina de limpeza, sala limpa e outros nomes; Refere-se à eliminação de partículas microscópicas, ar perigoso, bactérias e outros poluentes no ar dentro de um determinado espaço, e controlar a temperatura, a limpeza, a pressão interna, a velocidade do fluxo de ar e a distribuição do fluxo de ar, a vibração de ruído e a iluminação, a eletricidade estática dentro de uma determinada faixa de necessidades, e a sala especialmente projetada.

Design de oficina biolimpaPopularmente conhecido como oficina sem poeira, oficina de limpeza, sala limpa e outros nomes; Refere-se à eliminação de partículas microscópicas, ar perigoso, bactérias e outros poluentes no ar dentro de um determinado espaço, e controlar a temperatura, a limpeza, a pressão interna, a velocidade do fluxo de ar e a distribuição do fluxo de ar, a vibração de ruído e a iluminação, a eletricidade estática dentro de uma determinada faixa de necessidades, e a sala especialmente projetada.

Design de oficina biolimpaControle de temperatura e umidade

A temperatura e umidade do espaço limpo são determinadas principalmente de acordo com os requisitos do processo, mas sob as condições de atender aos requisitos do processo, o conforto das pessoas deve ser levado em consideração. Com a melhoria dos requisitos de limpeza do ar, surgiu uma tendência cada vez mais rigorosa para os requisitos de temperatura e umidade do processo. Os requisitos específicos do processo para a temperatura serão listados mais tarde, mas como princípio geral, devido à precisão de processamento cada vez mais fina, os requisitos para a faixa de flutuação da temperatura são cada vez menores. Por exemplo, no processo de exposição fotográfica para produção em massa de circuitos integrados, a diferença entre o coeficiente de expansão térmica do vidro e da placa de silício como material de máscara é cada vez menor. A placa de silício com diâmetro de 100 um, a temperatura aumenta 1 grau, causando uma expansão linear de 0,24 um, então deve haver uma temperatura constante de ± 0,1 grau, ao mesmo tempo que os valores de umidade são geralmente baixos, porque as pessoas suam depois, o produto terá poluição, especialmente a oficina de semicondutores com medo de sódio, a temperatura da oficina não deve exceder 25 graus, a umidade excessiva gera mais problemas. Quando a umidade relativa é superior a 55%, a parede do tubo de água de resfriamento fica exposta e, se ocorrer em dispositivos de precisão ou circuitos, pode causar vários acidentes. A umidade relativa é de 50%. Além disso, quando a umidade é muito alta, as moléculas de água no ar adsorem químicamente a poeira adesiva à superfície da folha de silício para ser difícil de limpar. Quanto maior a umidade relativa, mais difícil é remover a adesão, mas quando a umidade relativa é inferior a 30%, devido ao efeito da força elétrica estática, as partículas também são facilmente adsorvidas à superfície, ao mesmo tempo que um grande número de dispositivos semicondutores são propensos a quebrar. O intervalo de umidade ideal para a produção de placas de silício é de 3.545%.

Regras de pressão

Para a maioria dos espaços limpos, é necessário manter a pressão interna (pressão estática) acima da pressão externa (pressão estática), a fim de evitar a invasão da poluição externa. A manutenção da diferença de pressão deve geralmente atender aos seguintes princípios:

A pressão no espaço limpo é maior do que no espaço não limpo.

A pressão do espaço com alto nível de limpeza é maior do que a pressão do espaço vizinho com baixo nível de limpeza.

A manutenção da diferença de pressão depende de um novo volume de ar, que compensa o vazamento da fenda sob essa diferença de pressão. Portanto, o significado físico da diferença de pressão é a resistência ao vazamento (ou penetração) do volume de ar através de várias fendas na sala limpa.

Reglas de velocidade de fluxo de ar em sala limpa

A velocidade do fluxo de ar a ser discutida aqui refere-se à velocidade do fluxo de ar em um interior limpo, e a velocidade do fluxo de ar em outros espaços limpos é descrita quando se discute um dispositivo específico.

Como a principal dependência do efeito de diluição do ar para reduzir o grau de poluição interna, o conceito de troca de ar é usado principalmente, em vez de usar diretamente o conceito de velocidade, mas a velocidade do fluxo de ar interno também tem os seguintes requisitos;

(1) a velocidade de fluxo de ar de saída da entrada de ar não deve ser muito grande, em comparação com a sala de ar condicionado simples, a velocidade de decadência é mais rápida e o ângulo de difusão é maior.

(2) a velocidade de fluxo de ar soprando sobre a superfície horizontal (por exemplo, a velocidade de refluxo durante a entrega lateral) não deve ser muito grande para evitar que as partículas de superfície retornem ao fluxo de ar, causando poluição, essa velocidade geralmente não deve ser seca 0,2 m / s.

Para a sala de limpeza de fluxo paralelo costume ser chamado de sala de limpeza de fluxo stratificado, devido principalmente ao efeito de extrusão do pistão do fluxo de ar para excluir a contaminação, então a velocidade na seção é um indicador muito importante. No passado, sempre se refere ao padrão 20gB dos EUA, usando 0,45 m / s. Mas as pessoas também sabem que a quantidade de ventilação necessária para essa grande velocidade é enorme, para economizar energia, também estão explorando a viabilidade de reduzir a velocidade do vento.

No nosso país, as medidas de tecnologia de ar limpo e (especificações de projeto de instalações limpas) são assim previstas.

Fluxo paralelo vertical (fluxo stratificado) sala limpa ≥0.25m / s

Fluxo paralelo horizontal (fluxo stratificado) sala limpa ≥0.35 m/s

Controle de ruído

Os padrões de ruído de sala limpa são geralmente mais rigorosos do que os padrões de proteção da saúde, com o objetivo de garantir a operação normal, satisfazer os contatos de conversa necessários e um ambiente de trabalho seguro e confortável. Os principais indicadores para medir o ruído em salas limpas são:

1) Efeitos da preocupação

Devido ao ruído, faz com que as pessoas se sintam inquietas e geram emoções perturbadoras, geralmente divididos em extremamente silencioso, muito silencioso, mais silencioso, um pouco barulhento, mais barulhento e extremamente barulhento 7 níveis de perturbação. Onde o nível de reação pertence a pessoas muito barulhentas e extremamente barulhentas, ou seja, altas perturbações, o número de pessoas altamente perturbadas como porcentagem do número total de pessoas é a taxa de perturbação alta.

Efeitos na eficiência do trabalho

Isso se refere principalmente a três aspectos do nível de resposta: concentração, precisão de movimento e velocidade de trabalho.

Interferenças na comunicação integrada

Isso é dividido principalmente em: claro ou satisfatório, ligeiramente difícil, difícil, impossível

Os três indicadores acima são avaliados em nível A. Na década de 1950, foi proposto o uso de uma curva de espectro como critério de avaliação, o que significa que o nível de pressão sonora das frequências centrais de cada faixa de frequência não deve exceder essa curva. Aprendeu-se mais tarde que o nível A da escova para medir o ruído e o nível de interferência e perturbação da voz do ruído é mais adequado, e pode substituir o nível de pressão sonora da banda multipla como indicador do padrão de avaliação.

para exigências elevadas. Aqui é necessário primeiro explicar como iluminar uma sala limpa sem janelas:

1) Iluminação Geral

Refere-se à iluminação configurada para iluminar toda a área iluminada, sem considerar necessidades locais especiais.

2) Iluminação local

Refere-se à iluminação definida para aumentar a iluminação de um determinado local, como um ponto de trabalho. Mas a iluminação interior é geralmente não utilizada por iluminação local.

3) Iluminação Mista

Isto se refere à iluminação da superfície de trabalho de iluminação sintetizada por iluminação geral e iluminação local, onde a iluminação geral de iluminação deve representar 10% e 15% da iluminação total de acordo com as Especificações de Projeto de Fábrica Limpa, mas não menos de 150 LX.

As exigências de intensidade para salas limpas no exterior são altas, por exemplo, os requisitos de vários padrões dos EUA sobre salas limpas são:A luz artificial 300lx tem um melhor efeito, e 500x também é permitida quando a peça de trabalho é mais fina. Para os lugares que querem iluminação vermelha, como a oficina de fotografia da indústria eletrônica, a iluminação é geralmente (25501x),A iluminação mais elevada pode ser permitida com luz natural e, portanto, é benéfica para o trabalho, por isso, a iluminação da sala limpa no futuro pode ser promissora tanto com luz artificial quanto com luz natural, que também é uma tendência para economizar energia.

Antiestático

Os acidentes causados pela eletricidade estática ocorrem frequentemente em salas limpas, portanto, como a capacidade anti-estática de uma sala limpa tornou-se um aspecto não negligenciado na avaliação de sua qualidade.

A chamada eletrostática é devido a atrito e outras razões que danificam o estado elétricamente neutro uniforme da quantidade equivalente de carga positiva (+) e negativa (-) no objeto, e faz com que a carga elétrica seja excessiva, o objeto está carregado, porque essas cargas geralmente não são móveis, por isso é chamado de eletrostática.

Os acidentes causados pela eletricidade estática em salas limpas são os seguintes:

1. choque elétrico estático causado pela eletrostática, causando insegurança e medo das pessoas, e pode causar lesões secundárias (por exemplo, a pessoa cai devido ao choque elétrico e é ferida por queda);

A corrente de descarga causada pela descarga eletrostática pode levar a danos e erros, como componentes semicondutores, por exemplo, colocar 50 blocos de circuito P-MOS em sacos de plástico, abalar várias vezes, com 39 blocos de ruptura grave do portão não-porta, a eficiência de falha chega a 78%, porque o dispositivo semicondutor é muito sensível à descarga eletrostática;

As ondas eletromagnéticas geradas pela descarga eletrostática podem causar ruído e erros em instrumentos e dispositivos eletrônicos;

4. a emissão de luz de descarga eletrostática pode levar a danos fotossensíveis como membros da câmera;

O fenômeno mecânico da eletricidade estática pode levar aos buracos de setagem bloqueados pela poeira, fios caóticos, imprensa profunda desigual e poluição do produto.

A geração de acidentes elétricos estáticos está principalmente na geração e acumulação de eletricidade estática, enquanto o fluxo de ar, fluxo de ar e tubulação, ventilação, filtros e outros atritos, atrito do corpo humano e roupas, atrito entre roupas, moagem no processo, pulverização, jato, lavagem, agitação, adesão e descarte e outras operações, todas as opções podem gerar eletricidade estática, em geral, quanto menor a condutividade elétrica não condutor (isolador), devido à carga elétrica não é fácil de fluir após a geração, por isso, mais fácil de carregar.

O problema da eletricidade estática é particularmente grave na sala limpa, porque não só a sala limpa tem vários fatores de processo para gerar eletricidade estática, mas também porque muitos materiais na sala limpa, como piso de plástico, paredes, nylon, roupas de trabalho, etc., têm uma alta resistência, são muito fáceis de gerar eletricidade estática e concentrar eletricidade estática, antes de desastres elétricos estáticos da sala limpa não serem considerados, esses materiais são amplamente adotados.