Plataforma óptica de isolamento ativo para desktop - Antivibração ativa para desktop - Herz TS Series

Resumo:

No século XXI, a nanotecnologia (como semicondutores avançados que representam tecnologias relacionadas com a informação, tecnologias relacionadas com a ciência declarada, como terapia genética, processamento atômico ou molecular, como MEMS e engenharia como geração de novos materiais), vibração, ruído, campos eletromagnéticos, calor, umidade, interferência, etc. serão os limites do ambiente de medição. Na nanotecnologia, para obter resultados confiáveis, é difícil usar a faixa de baixa frequência de isolamento de plataforma flutuante a gás, o isolamento ativo é necessário.

O sistema de isolamento ativo avançado da série TS da Herz servirá como base tecnológica de isolamento para a nanotecnologia do século 21, ajudando a promover a tecnologia atual e a medição, a inovação e o desenvolvimento de tecnologias desconhecidas. A série TS oferece um excelente desempenho de isolamento ativo em todos os seis graus de liberdade na ampla gama de 0,7 Hz a 100 Hz.

Princípio de funcionamento:

Plataforma óptica de isolamento de vibração ativa para desktop - Antivibração ativa para desktop - A série TS da Herz utiliza tecnologia de isolamento avançada para isolar vibrações em seis direções espaciais (horizontal e vertical), enquanto a série TS usa o sensor de aceleração piezoelétrica dentro do controlador para converter o sinal de pressão das vibrações externas em sinal elétrico enviado para o transformador piezoelétrico no módulo de isolamento, que gerará um sinal de pressão igual ao tamanho da pressão de entrada e na direção oposta para eliminar as vibrações de entrada. O sistema de isolamento vibratório usa um circuito de feedback para eliminar a ressonância mecânica do sistema de isolamento vibratório.

Comparação de desempenho (TS-150/LP）：

– Comparação de aceleração de vibração

Os dados à direita mostram o desempenho de isolamento de vibração do TS-150/LP, horizontal (X, Y) e vertical (Z).

Linha azul: aceleração da vibração do solo

Linha vermelha: Aceleração da placa de montagem superficial TS-150/LP

– Taxa de transmissão de vibração

Os dados à direita mostram a taxa de vibração do solo para a placa de montagem superficial TS-150/LP, horizontal (X, Y) e vertical (Z).

Eixo vertical: taxa de transmissão, unidade: dB

(20 dB = x 10, 0 dB = x 1, -20 dB = x 0,1, -40 dB = x 0,01, -60 dB = x 0,001)

Esses dados indicam que os sistemas de isolamento ativo têm um excelente desempenho de isolamento vibracional na faixa de baixas frequências de 1 Hz a 100 Hz.

Plataforma óptica de isolamento de vibração ativa para desktop - Antivibração ativa para desktop - Parâmetros técnicos da série Herz TS:

Crie o melhor ambiente de medição com isolamento acústico：

Para estudos atômicos ou moleculares, como microscópios eletrônicos de varredura, os sistemas de isolamento vibratório ativo da série TS são essenciais. Além disso, não só a vibração deve ser considerada, mas também a supressão acústica. As caixas de isolamento acústico AEk que produzimos são adequadas para aplicações de ultra-alta resolução, como SPM. A integração das séries AEk e TS oferece o melhor ambiente de medição.

Com caixa de isolamento acústico AEK-2002: o sistema AEK usa camadas de material de isolamento acústico de densidade variável múltiplas para isolar eficazmente o ruído de banda larga.

Exemplo de aplicação TS：