Espessor de película automático de mesa

A série NS-30 (medidor automático de espessura de membrana de mesa) é um sistema automático de medição e análise de espessura de membrana de mesa. A iteração do suporte de amostragem automática com base na medição da espessura da membrana permite medir automaticamente os pontos definidos e gerar mapas de distribuição de dados em 2D e 3D. A série NS-30 é adequada para medição de espessura de membrana de wafer ou medição de espessura de membrana de pilha fotovoltaica.

A série NS-30 (medidor automático de espessura de membrana de mesa) é um sistema de análise automática de medição de espessura de membrana de mesa. RealizávelMedição do coeficiente de extinção da taxa de absorção da refração,A iteração do suporte de amostragem automática com base na medição da espessura da membrana permite medir automaticamente os pontos definidos e gerar mapas de distribuição de dados em 2D e 3D. A série NS-30 é adequada para medição de espessura de membrana de wafer ou medição de espessura de membrana de pilha fotovoltaica.

Especificações do parâmetro de espessura de membrana de mapeamento automático NS-30

modelo	NS-30UV	NS-30	NS-30NIR
Intervalo de comprimento de onda	190 nm – 1100 nm	380 nm - 1050 nm	950 nm – 1700 nm
Medição da espessura1	1 nm a 40 μm	15 nm a 80 μm	150 nm a 250 μm
Precisão2	1 nmou0.2%	de 2 nmou0.2%	3 nmou0.4%
precisão3	0,02 nm	0,02 nm	0,1 nm
estabilidade4	0,05 nm	0,05 nm	0,12 nm
Tamanho da mancha	1,5 milímetros	1,5 milímetros	1,5 milímetros
Velocidade de medição	< 1s(Medição única)	< 1s(Medição única)	< 1s(Medição única)
Fonte de Luz	Lâmpadas de tungstênio+Luz de deutério	Lâmpadas de tungstênio	Lâmpadas de tungstênio
Tamanho da amostra	Diâmetro de1 milímetropara300 milímetrosOu maior.	Diâmetro de1 milímetropara300 milímetrosOu maior.	Diâmetro de1 milímetropara300 milímetrosOu maior.