Medidor de espessura sem contato de película semicondutora

NegociávelAtualização em02/09

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Visão geral

O medidor de espessura sem contato de película fina de semicondutores NS-30 é um dispositivo de medição de alta precisão baseado no princípio da interferência da luz branca, especialmente adequado para cenários que exigem medições automatizadas e análises precisas da distribuição da espessura.

Detalhes do produto

　　1. Princípios básicos

A entrada vertical de luz de banda larga de alta estabilidade entra na superfície da amostra, gerando interferência óptica entre as camadas de membrana, a luz refletida é analisada espectralmente e o algoritmo de regressão pode calcular a espessura de cada camada de membrana fina. Adequado para medir a espessura, a refletidão, a refração e outros parâmetros de camadas de membrana transparentes ou semitransparentes de nível nanométrico a micrométrico.
核心原理

　　2 Parâmetros específicos

- Princípio básico: tecnologia de interferência de luz branca de banda larga de entrada vertical

Faixa de medição: 1 nm a 250 μm

Faixa de comprimentos de onda (modelo NIP): 950 nm - 1700 nm (banda de infravermelho próximo)

Precisão: 3 nm ou 0,4%

Precisão de repetição: 0,1 nm

Velocidade de medição: < 1 segundo/ponto

Tamanho da mancha: 1,5 mm

- Características principais: suporte automático de amostras, ponto predefinido para medição automática e geração de mapas 2D / 3D de espessura, refração e reflexão

- Tamanho do banco de amostras: 100 mm a 450 mm opcional

Capacidade de medição: pode medir a espessura, a refração (n) e a reflexão de cada camada de película composta multicamada

　　3 Funções principais
核心功能

　　4 – Apresentação dos resultados
实测结果展示

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