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Pequim Haikoshi Optoelectric Instruments Co., Ltd.
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Pequim Haikoshi Optoelectric Instruments Co., Ltd.

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Movimento direto de mesa de deslocamento elétrica

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A plataforma elétrica da série 8MTL é movida diretamente pela tecnologia de servomotor sem escova e sem ferro trifásico para alcançar movimentos de intervalo zero com alta precisão, repetibilidade e baixo atrito. Os codificadores ópticos lineares sem contato garantem o controle direto da posição com resolução de movimento subnanométrica. A liga de óxido de alumínio garante a estabilidade em alta temperatura, a suavidade do instrumento 8MTL e a excelente cinética de longo ciclo, sem deriva de sistema orientado. A plataforma ocupa uma área pequena e pode ser integrada em máquinas de alta densidade e aplicações de espaço pequeno e pode ser usada em câmaras ultralimpas e aplicações de vácuo (até 10-3 Torr).
Detalhes do produto

Movimento direto de mesa de deslocamento elétricaResumo:

As plataformas elétricas da série 8MTL usam a tecnologia de servomotor sem escova de ferro trifásico para alcançar movimentos de intervalo zero com alta precisão, repetibilidade e baixa força de atrito. Os codificadores ópticos lineares sem contato garantem o controle direto da posição com resolução de movimento subnanométrica. A liga de óxido de alumínio garante a estabilidade em alta temperatura, a suavidade do instrumento 8MTL e a excelente cinética de longo ciclo, sem deriva de sistema orientado. A plataforma ocupa uma área pequena e pode ser integrada em máquinas de alta densidade e aplicações de espaço pequeno e pode ser usada em câmaras ultralimpas e aplicações de vácuo (até 10-3 Torr).

8MTL1301-170 (em inglês)

modelo

8MTL1301-170-LEn1-025 (em inglês)

8MTL1301-170-LEn1-050 (em inglês)

8MTL1301-170-LEn1-100 (em inglês)

8MTL1301-170-LEn1-200 (em inglês)

Itinerário

170 milímetros

Tipo de codificador

codificador óptico

Resolução do codificador

25 nm

50 nm

100 nm

200 nm

Ciclo de raster do codificador

20 um

Precisão absoluta:

Antes da calibração

±5 µm

Após a calibração

± 1 μm

Precisão de repetição bidirecional (pico)

± 0,15 μm

Precisão de repetição bidirecional (RMS)

± 0,10 μm

Taxa máxima da (carga 4kg)

< 2000 milímetros/s

Carga (no centro)

30kg

peso

4,1 kg

5.1.jpg

8MTL1401-300 (em inglês)

modelo

8MTL1401-300-LEn1-025 (em inglês)

8MTL1401-300-LEn1-050 (em inglês)

8MTL1401-300-LEn1-100 (em inglês)

8MTL1401-300-LEn1-200 (em inglês)

Itinerário

300 milímetros

Tipo de codificador

codificador óptico

Resolução do codificador

25 nm

50 nm

100 nm

200 nm

Ciclo de raster do codificador

20 um

Precisão absoluta:

Antes da calibração

±5 µm

Após a calibração

± 1 μm

Precisão de repetição bidirecional (pico)

± 0,15 μm

Precisão de repetição bidirecional (RMS)

± 0,08 μm

Taxa máxima da (carga 4kg)

< 2000 milímetros/s

Carga (no centro)

30kg

peso

6,75 kg

5.2.jpg

Movimento direto de mesa de deslocamento elétrica8MTL120XY

modelo

8MTL120XY-LEn1-025 (em inglês)

8MTL120XY-LEn1-050 (em inglês)

8MTL120XY-LEn1-100 (em inglês)

8MTL120XY-LEn1-200

Itinerário

120 x 120 milímetros

Tipo de codificador

codificador óptico

Resolução do codificador

25 nm

50 nm

100 nm

200 nm

Ciclo de raster do codificador

20 um

Precisão absoluta dui

Antes da calibração

± 4 µm

Após a calibração

± 0,5 μm

Precisão de repetição bidirecional (pico)

± 0,15 μm

Precisão de repetição bidirecional (RMS)

± 0,10 μm

Taxa máxima da (carga 4kg)

< 1000 mm/s

Carga (no centro)

30kg

tamanho

240 x 360 x 75 milímetros

5.3.jpg

8MRL120-15 (em inglês)

modelo

8MRL120-15-MEn (em inglês)

Área de ângulo

360 graus

Tipo de codificador

codificador óptico

Resolução do codificador

0,0000625 graus

Ciclo de raster do codificador

0,05 grau

Precisão absoluta dui

Antes da calibração

±218 µrad / ±45,00 arcsec

Após a calibração

solicitação

Precisão de repetição bidirecional (pico)

±7,30 µrad/±1,50 arcsec

Precisão de repetição bidirecional (RMS)

±2,90 µrad/±0,60 arcsec

Eccentricidade

± 5,00 μm

Tremor

±19,40 µrad/±4,0 arcsec

Taxa máxima da (sem carga)

<9000 grau/s/1500 RPM

Carga

Nível

40 quilos

Vertical

20 quilos

Diâmetro do disco

90 milímetros

Diâmetro central

15 milímetros

peso

2,6 kg

5.4.jpg

8MRL180, 8MRL250

modelo

8MRL180

8MRL250

Área de ângulo

360 graus

360 graus

Tipo de codificador

1Vpp indutância analógica

Resolução do codificador

2 segundos de arco

1 arcsec

Precisão dupla

5 segundos de arco

4 arcsec

Jue para precisão (antes da calibração)

50 segundos de arco

40 segundos de arco

Batimento axial

30 milímetros

30 milímetros

Batimento radial

30 milímetros

20 um

Velocidade máxima da

6600 graus/s

3300 graus/s

Carga horizontal

12 quilos

20 quilos

Carga vertical

12 quilos

15 quilos

Diâmetro do disco

180 milímetros

250 milímetros

peso

5 quilos

10 kg