Sistema de pulverização magnetrônica de ultra-alto vácuo de câmara dupla

Um,Sistema de pulverização magnetrônica de ultra-alto vácuo de câmara duplaParâmetros principais:

Tipo de instrumento: pulverização magnetrônica

Categoria de origem: Produto nacional

Área de aplicação: Microeletrônica

Tamanho do substrato: 4 polegadas (pode ser personalizado)

Alvo: Tantal

Faixa de temperatura do substrato: RT-900ºC

Uniformidade da espessura da membrana: uniformidade da gravação do substrato <3%

Vácuo extremo: vácuo extremo UltimatePressure<3E-9Torr

Princípio técnico de pulverização magnetrônica:

Forma-se um campo eletromagnético ortogonal acima da superfície do alvo catódico. Quando o elétron secundário gerado pela pulverização é acelerado em elétrons de alta energia na área de queda do cátodo, ele não voa diretamente para o ânodo, mas faz um movimento aproximado de oscilação para trás sob o efeito do campo eletromagnético ortogonal. Os elétrons de alta energia continuamente colidem com as moléculas de gás e transferem energia para elas, ionizando-as e transformando-as em elétrons de baixa energia. Estes elétrons de baixa energia são eventualmente absorvidos ao longo da linha magnética para o ánodo auxiliar perto do cátodo, evitando o bombardeio intenso de elétrons de alta energia na placa polar, eliminando o aquecimento do bombardeio da placa polar em sputtering secundário e os danos causados pela radiação eletrônica, refletindo as características da placa polar "baixa temperatura" em sputtering magnetrônico. Devido à presença de campos magnéticos, o movimento complexo dos elétrons aumenta a taxa de ionização, permitindo uma pulverização de alta velocidade.

Três.Sistema de pulverização magnetrônica de ultra-alto vácuo de câmara duplaCaracterísticas técnicas:

Alta taxa de formação de membrana, baixa temperatura da substrata, boa adesividade da membrana

Serviço pós-venda:

Garantia: 1 ano

Possibilidade de prorrogação da garantia: Não

Consultoria técnica no local: sim

Treinamento gratuito: 1. fornecer pelo menos 2 pessoas por semana de treinamento original do equipamento antes da saída da fábrica. 2. Instalação e depuração do equipamento no local

Manutenção gratuita do instrumento: se necessário

Compromisso de manutenção dentro da garantia: os custos de peças, componentes e despesas de viagem durante o período de garantia (exceto desastres naturais e danos causados pelo homem) são suportados pela nossa empresa

Compromisso de reparação: em caso de falha durante o período de garantia, nossa empresa responderá prontamente e enviará técnicos para resolver a falha no local dentro de 8 horas;

Parâmetros técnicos:

6. Processo de demonstração: