FR-Scanner-AIO-Mic-XY300

NegociávelAtualização em12/23

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Visão geral

O FR-Scanner-AIO-Mic-XY300 é um sistema de mapeamento automático integrado de espessura de película fina para medi??o totalmente automática de espessura de revestimento de camada única e de camadas múltiplas em wafers de desenho. O suporte elétrico X-Y oferece um curso de 300 mm x 300 mm para medi??es precisas quando fixado a vácuo no suporte. Disponível com uma variedade de configura??es ópticas na faixa espectral de 200-1700nm, de acordo com as necessidades de medi??o de espessuras e comprimentos de onda

Detalhes do produto

Descrição do produto:

O sistema modular de mapeamento de espessura FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY300 integra módulos ópticos, eletrônicos e mecânicos para medições precisas de filmes sem gráficos e gráficos (por exemplo, superfícies micrográficas, superfícies rugosas).

Coloque o wafer em uma aspiradora de vácuo (tamanho do wafer com diâmetro ≤ 300 mm) e equipado com peças padrão de refletidão. As medições são realizadas por um poderoso módulo óptico com tamanhos de manchas de até alguns micrômetros. A plataforma elétrica oferece um percurso de 300 mm na direção XY com excelente desempenho em termos de velocidade, precisão e repetibilidade

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300Oferece:

Medição espectral de refletidão em tempo real

Espessura da película, propriedades ópticas, medição de desuniformidade, mapeamento da espessura

o Imagem com câmera colorida de alta qualidade integrada e ligada USB

Estatísticas abrangentes dos parâmetros de medição

Alinhamento de padrão semi-automático para medição de áreas gráficas periódicas

oÉ diferente.Funcionalidades do software, como Click2Move (medição do posicionamento do clique na tela), escala

Anexos:

FR-AutoFocus: eixo linear comprido de 100 mm para foco automático, com dois modos de operação: foco de imagem (contraste) / intensidade de reflexão
Rotation Module: plataforma elétrica de módulo rotativo com alta resolução e precisão
FR-FilterWheel: Módulo de roda de filtro elétrico com slot para 12 filtros controlado automaticamente pelo computador: Tamanho do filtro: 0,5 polegadas de diâmetro, até 6 filtros (1 polegada)
FR-AutoTurret: torre rotativa automática controlada por computador com capacidade para 4 objetos: velocidade de mudança de lente de aproximadamente 1,0 a 3,0 segundos
Lentes: Lentes VIS/NIR de longa distância: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X
Lentes UV/NIR refletidas: 10X, 15X, 25X, 40X
Bomba: bomba de vácuo de baixo ruído, 2.5L / min, grau de vácuo -60kPa.
Chucks: Máscara de luz de 6 polegadas com área de referência de 6 polegadas, multi-wafer (100-300 mm e fichas de forma irregular), incluindo área de referência e área escura para referência automática

Especificações:

屏幕截图 2024-03-25 104700.png

Diagrama de espessura 2D:

FR-Scanner XY-300_1.jpg

Espessura 3D:

FR-Scanner XY-300_2.jpg

Princípio de medição: 屏幕截图 2024-03-25 105726.png

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