Sistema PECVD inteligente

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Visão geral

O PECVD-III-500A-D210 é um sistema PECVD inteligente. O equipamento é dividido em quatro partes principais: forno de tubulação multitemperatura, componentes de rádio-frequência, sistema de vias de ar e sistema integrado de software de controle de automação.

Detalhes do produto

O equipamento é dividido em quatro partes principais: forno de tubulação multitemperatura, componentes de rádio-frequência, sistema de vias de ar e sistema integrado de software de controle de automação.

1, forno de aquecimento aberto

O forno de aquecimento usa fibra de alumínio ultraleve, com termopar tipo K, temperatura de controle de 6 pontos; O controle de refrigeração do equipamento é flexível e o forno de aquecimento pode ser aberto eletricamente para facilitar a substituição do tubo de reação de manutenção do cliente.

2 - Sistema de vias de ar

O gás múltiplo pode ser controlado com precisão pelo medidor de fluxo de massa para a mistura de diferentes fluxos, além de passar por um borbulhador separadamente para o tubo de reação.

3 Componentes de radiofrequência

O brilho de radiofrequência de alto desempenho de 1000W é uniforme, permitindo que toda a câmara de reação esteja na área de produção de brilho.

4. Sistema de controle inteligente

Adota PID inteligente de controle de borrosidade, 30 segmentos de controle programável. Tem função de alarme de interrupção ultra-suave.

Temperatura máxima	1200℃
Temperatura de funcionamento contínua	≤1100℃
Taxa de aquecimento	≤10℃/min
Precisão de temperatura	±1℃
Componentes de aquecimento	Fio de resistência
Termoparo	Tipo K
Modo de controle de temperatura	Controle PID borroso e ajuste auto-integrado, controle programável de 30 segmentos de inteligência artificial, função de alarme de hipertemperatura e interrupção, interface homem-máquina mais controle PLC, controle de tela LCD de 15 polegadas
Potência total de aquecimento	≤15KW
Tamanho da área de aquecimento	300 + 300 + 300 milímetros
Potência RF	1000W
Tamanho do equipamento	2550 * 850 * 1600mm
Peso do equipamento	Cerca de 600 kg

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