Sistema de exposição de feixe de elétrons JC Nabity (gerador de nanográficos NPGS)

Sistema de exposição de feixe de eletrões NPGS V9.1 baseado em modificação SEM/FIB

1) O NPGS é baseado em SEM, STEM ou FIB existentes, além de um sistema de controle de feixe de elétrons que controla a varredura vetorial do feixe de elétrons no eletroscópio através de uma interface de computador para gravar gráficos diretamente.

2) O sistema NPGS tem a função de observação do SEM original. Não afeta a própria função do SEM.

3) Funcional, fácil de operar e flexível de usar.

4) NPGS e SEM ou FIB atuais são compatíveis.

O NPGS V9.0 é um programa de software para controlar o feixe de eletrônicos de varredura. A exposição ao feixe de elétrons baseada em eletroscópio é simplesmente dividida em duas partes: design de gravação e operação gráfica. O design de gravura é feito através do programa DesignCAD oferecido aleatoriamente pela NPGS. Este programa CAD foi modificado para adicionar comandos para a exposição ao feixe de eletrões. A execução do gráfico inclui parâmetros definidos para o NPGS calcular a posição de cada ponto no gráfico e o tempo de exposição.

placa de hardware NPGS: placas microshadow personalizadas são instaladas com base em um slot PCIe de alta velocidade interno de uma estação de trabalho de computador. As principais características são:

Adotando saída de conversão digital de alta velocidade de 16 bits, saída simultânea de dois canais X e Y, frequência de varredura sincrônica de 5 MHz, compatível com 6 MHz, tempo de residência do feixe de eletrões com um aumento mínimo de 0,5 nanossegundos, e essa resolução pode ser alcançada em todas as frequências.

2. Método de digitalização de gravação: método de digitalização vetorial e método de digitalização de mapa de bits.

3. Saída de controle eletrônico integrado.

A imagem é obtida usando uma entrada de conversão modular de 16 bits integrada.

Baseado em slots PCIe, instalação fácil e operação confiável.

Bloqueador de feixe eletrônico (bloqueio de feixe): bloqueio de feixe de alta velocidade tipo campo elétrico. O sistema NPGS também suporta operações sem barras.

Pico-amperômetro: um sistema de exposição de feixe de eletrões baseado em SEM requer um pianômetro que leia com precisão o fluxo de feixe de eletrões da amostra bombardeada. Normalmente, é necessário conectar um pianômetro à saída de corrente da amostra fora do suporte do eletroscópio.

Faço de eletroscópio: NPGS podem ser opcionalmente conectados para controlar leituras de copo Faraday e / ou de picoampério, mas a maioria dos usuários usará copo Faraday e picoampério controlados manualmente.

Parâmetros do eletroscópio e controle da mesa elétrica: vários drivers digitais de eletroscópio e drivers da mesa de carregamento gerais estão disponíveis gratuitamente. Se houver um protocolo de comunicação de porta serial, o sistema suporta qualquer controle externo.