Nanomesa de cerâmica piezoelétrica linear compacta de grande curso, de alta precisão

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Esta série de mesas de deslocamento nanométrico usa cerâmica de alta confiabilidade e pilhas de baixa tensão de múltiplas camadas como componente de acionamento e usa um sistema de orientação flexível de estado integrado otimizado para elementos finitos para garantir bons movimentos paralelos. Graças ao mecanismo flexível sem atrito, a mesa de deslocamento de pressupotencial não requer manutenção, desgaste e desempenho rápido e estável, tornando-a adequada para processos dinâmicos, como compensação de erros de alta frequência, rastreamento, passo rápido ou varredura contínua.

A versão de circuito fechado possui um sensor de posição de alta resolução, que permite movimentos de alta precisão e repetidos, além de compensar o deslizamento da cerâmica piezoelétrica. Os sensores são projetados com pontes de circuito fechado. Pode funcionar em controle de circuito aberto ou fechado. A fixação da plataforma piezoelétrica é realizada através de orifícios roscados na superfície móvel e na placa de fundo. Para instalar em uma plataforma óptica ou outro componente com uma grade padrão, use a placa de redirecionamento. Durante o processo de fixação, devem ser evitadas cargas excessivas de torque de curvatura e forças laterais entre a superfície móvel e a carcaça, que podem danificar a mesa de deslocamento.

NOTA: Todos os parâmetros especificados são medidos com base na temperatura ambiente (22 ° C ± 3 ° C), por favor, entre em contato conosco para obter mais informações. O "-" na tabela indica que não é aplicável.

O prefixo "-S" é fechado, com sensor de posição incorporado. Fixos de anel aberto sem "-S, erros sem linhas, dados de repetição.

A tensão máxima de acionamento é -20V ~ + 150V, para uso de longo prazo altamente confiável, a tensão de acionamento é recomendada em 0. + 120V, maior viagem, por favor, consulte. A fábrica é o curso nominal.

Resolução é o ruído de localização. Como o sistema de nanoposicionamento de cerâmica piezoelétrica não tem atrito, a resolução do sistema é limitada apenas pelo ruído do amplificador e pela tecnologia de medição. Normalmente, o valor RMS (1σ) é usado para medição e especificação.

Refere-se ao valor mínimo de passo móvel da plataforma piezoelétrica medido por interferômetro, que é determinado principalmente pela resolução do DAC do controlador piezoelétrico. Na melhor das hipóteses, a tabela de parâmetros corresponde ao valor de deslocamento de bit de 16 bits.

5. carga axial, carga maior, por favor, consulte, note que exceder a carga nominal causará danos ao mecanismo flexível.

Consulte o comprimento do cabo mais longo.

O peso da mesa não inclui o peso dos cabos e conectores.

Max. em tolerância representa o valor máximo; Tipo. indica o valor típico dos dados padrão, e o valor real dos dados de medição é dado no relatório de teste.