Medição da largura da linha

O COMEF é um software de processamento de imagem com funções especiais projetado para medir largura e distância de linha com alta precisão. Através de um algoritmo de escala de cinza, ele mede a largura e a distância dos fios ou estruturas na wafer de silício com precisão subpixel.

Aplica o princípio da imagem óptica reversível. Portanto, também é possível imaginar colocar um chip CCD no plano do objeto (plano da amostra). Um microscópio que transmite imagens da amostra de teste ao nível do chip a uma taxa de ampliação de 10 vezes, em princípio, também transmite imagens do chip ao nível da amostra de teste a uma taxa de ampliação de 1/10.

O que é o processamento de sub-pixels? Subpixeling means, detection of edge position with higher reproductibility than ΔXm. Subpixel significa detectar a posição da borda com maior reprodutividade do que ΔXm. How does that work? Como é que isto funciona? A condition is that the recognition of the edge position does not take place manually any longer via setting measuring points on the PC monitor. A condição é que o reconhecimento da posição da borda não seja mais realizado definindo manualmente o ponto de medição no monitor do computador. The edge recognition is made on the basis of grey tone distributions by the regarded screen window. Thus this measuring procedure no more is suitable for all kinds by objects. O reconhecimento de bordas é baseado na distribuição de tons de cinza da janela da tela observada. Portanto, esse método de medição já não é aplicável a todos os tipos de objetos. It works however outstanding perfect for all linear expanded objects, thus e.g. for circuit paths on hoppers or structures on wafers and masks in semiconductor technology. No entanto, é excelente e aplicável a todos os objetos de expansão linear, como caminhos de circuito em tecnologia de semicondutores, estruturas em recipientes e estruturas em wafers e máscaras.

Como o tamanho original do pixel no chip é de 6 mícrons, o tamanho de cada pixel no nível da amostra de teste é de 0,6 mícrons.