Espectroscópico de Mapeamento ME

I. Visão geral

ME-MapeamentoO Espectro-Elipômetro é um Espectro-Elipômetro de Medição de Mapeamento personalizado com módulo de medição de Mapeamento totalmente automático configurado para obter rapidamente a caracterização e análise de medição de mapeamento personalizada de espessura de película de base fina e parâmetros ópticos através da medição de parâmetros como elipse, transmissão / reflexão.

■Solução de medição de mapeamento eliptico de substrato completo;

■ Suporte ao design de produtos e personalização de módulos funcionais, medição de desenho em um clique;

■ Configurar o módulo de mapeamento, capacidade de medição de posicionamento multi-ponto personalizada de toda a placa de base;

• Bancos de dados e bibliotecas de modelos geométricos ricos, garantindo uma capacidade de análise de dados robusta.

Características do produto

■Adotando uma fonte de luz composta de lâmpadas de deutério e halogênio, o espectro cobre a faixa ultravioleta ao infravermelho próximo (193-2500nm);

■Modulação de compensador de rotação de alta precisão, configuração PCRSA para a coleta de dados espectrais Psi / Delta de alta velocidade;

■Capacidade de medição automática de posicionamento multi-ponto personalizada de todo o substrato para fornecer relatórios de análise de detecção de espessura de máscara completa;

■Centenas de bancos de dados de materiais e bibliotecas de modelos algoritmicos abrangem a grande maioria dos materiais fotoelétricos atuais.

III. Aplicação do produto

O ME-Mapping é amplamente utilizado em aplicações industriais como OLED, LED, fotovoltaico e circuitos integrados para obter medições e caracterizações rápidas de espessura de membrana de base completa de grande tamanho, constantes ópticas e distribuição de espessura de membrana.

Acessórios opcionais

Parâmetros técnicos