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Xangai Xinnu Optical Technology Co., Ltd.
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Equipamento de medição 3D da série MTS

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Equipamento de morfometria tridimensional da série MTS: o sensor de deslocamento confocal espectral é um dispositivo que decodifica informações espectrais usando o espectrômetro para obter informações de localização através do princípio de dispersão óptica.
Detalhes do produto

Equipamento de medição 3D da série MTSEstrutura do sensor de confocalização espectral

O sensor de deslocamento confocal espectral é um dispositivo que estabelece uma correspondência entre distância e comprimento de onda através do princípio de dispersão óptica, usando um espectrômetro para decodificar informações espectrais e obter informações de localização.

Em um sistema de sensores de deslocamento confocal espectral,

O alcance da medição do sistema é influenciado por quatro fatores:

1. Distribuição espectral da fonte de luz

2. Diferença de cor axial da lente dispersa na faixa de trabalho

3. Banda de trabalho do espectrômetro

4. Banda de trabalho do acoplador de fibra óptica

MTS系列三维形貌量测设备


Vantagens do Foco Espectral

Sensor de confocalização espectral multifuncional


Nossos sensores confocais submersos focalizam a luz branca a diferentes distâncias ao longo do eixo de radiação por meio de lentes ópticas de alta qualidade, em vez de um único ponto, com todas as bandas de luz visíveis no foco. Este sensor óptico versátil abre novas dimensões para a tecnologia de medição de luz.


· Qualquer material pode ser testado - material opaco / transparente, reflexo difuso / reflexo, absorção, cor, áspero / polido

· Teste coaxial evita o efeito da sombra

· A aceitação inclinada e o abertura numérica permitem que o ângulo mensurável na superfície refletida seja de até 45 °, superfície de difusão > 80 °.

• Resolução e precisão do eixo Z - não é necessário escanear o eixo Z para obter o teste

Sensores de matriz de múltiplos pontos com velocidades de teste ultrarápidas permitem testes paralelos em muitos pontos

Tamanho de mancha pequeno e constante para alta resolução horizontal

Sonda óptica passiva, sem necessidade de mover nenhum componente ou incorporar eletricidade

Rota - garante alta estabilidade térmica, confiabilidade e repetibilidade a longo prazo


MTS系列三维形貌量测设备


Comparação dos métodos de medição


Microscópio digital

- A forma da superfície requer sobreposição profunda, lenta - Pequeno campo de visão

- A precisão da varredura depende do motor do eixo Z e da profundidade de campo do objetivo

Microscópio confocal a laser

- A forma da superfície requer varredura camada a camada, lenta - Pequeno campo de visão

- Medição de dados humanos

Confocalização espectral de tipo reflexo triangular

Resolução do eixo Z mais baixa

- Scan zona cega fácil

- Máis efeitos de materiais transparentes e espelhos

interferência de luz branca

Custos elevados de utilização e manutenção

- Não é adequado para amostras maiores e amostras maiores

- Máis efeito em amostras com superfícies mais ásperas



Vantagens do MTS

Medição sem contato

Resolução do eixo Z até 20nm

Mais rápido sem sobreposição de profundidade de campo

Reflexividade da superfície da amostra não limitada

Informações completas sobre superfícies 3D

Área de digitalização personalizada

Acessível ao Q-DTS

Acessível ao manteiga AI


MTS系列三维形貌量测设备MTS系列三维形貌量测设备

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Equipamento de medição 3D da série MTSParâmetros técnicos



MTS 01

MTS 02

Módulo óptico

Dimensão 1 /mm

0.2

1

0.24

0.6

10.6

Pontos / Linhas

192

1200

Comprimento da linha/mm

0.96

1.91

1.18

2.36

11.9

Intervalo de pontos/μm

5

10

0.98

1.97

9.9

Resolução do eixo Z/nm

20

80

25

50

800

Precisão 2 / nm

±80

±300

±125

±250

±4000

Plataforma elétrica de quatro eixos

Taxa de amostragem/Hz

6000

36000

Passagem do eixo XY / mm

350x350

Precisão de posicionamento do eixo XY / μm

±0.3

Precisão de posicionamento repetido do eixo XY / μm

±0.15

Corrida do eixo Z / mm

5 milímetros

Precisão de posicionamento do eixo Z / μm

±0.2

Precisão de posicionamento repetido do eixo Z / μm

±0.1

Precisão de posicionamento do eixo T

±2 arcsec

Precisão de posicionamento repetida do eixo T

±1 arcsec

Velocidade de digitalização / mm / s

80

Câmera de localização 2D

Pixel eficaz

2464×2056

Tamanho do campo de visão

8,6 x 7,2 milímetros

Fonte de Luz

Luz LED

Sistema de software

Recuperação confocal espectral

Captura de mapas de navegação, função de localização

Opcional com módulo de conexão de dados Q-DTS

Medição 2D e 3D

Ferramentas de medição de comprimento, largura, altura, ângulo, volume, etc.

Sistema informático

Funcionalidades de software personalizadas

Saída do relatório

Word, Excel, etc.

① acima de 2kHz, o alcance do teste diminui com o aumento da frequência

Medição em espelho vertical a 20°C

Os dados são derivados de testes em aplicações típicas e podem diferir de outros testes em situações específicas. Erros de impressão subsequentes, revisões, atualizações também podem causar diferenças dos parâmetros técnicos listados na tabela. Portanto, a consistência dos parâmetros técnicos, resultados de medição e informações fornecidos neste produto na tabela não é garantida.