Bomba molécular composta de rolamento de suspensão magnética TG-M série

Bomba molécular composta de rolamento de suspensão magnética TG-M série

A bomba molecular de turbina é composta por uma lâmina de rotor de múltiplas camadas e uma lâmina de stator. A imagem abaixo mostra o ângulo da lâmina e a relação entre a direção de rotação da molécula de gás que entra na bomba do lado de alto vácuo e, depois de ser ligada à lâmina do rotor, se separa em diferentes direções de acordo com a distribuição Maxwell. No entanto, devido ao ângulo de inclinação e rotação da lâmina, a molécula voa para a camada seguinte e passa facilmente pela lâmina statora para baixo. Ao mesmo tempo, as moléculas de gás que entram da camada inferior e passam pela lâmina fixa também podem voar novamente para a camada seguinte colidindo com a lâmina do rotor. O ângulo da lâmina é que as moléculas de gás da camada superior são facilmente atravessadas pelo ângulo (maior diferença entre a direção do fluxo e o fluxo inverso na direção do escape), enquanto que as moléculas de gás da camada inferior não são facilmente retrogradáveis (maior ângulo entre a direção do fluxo e o fluxo inverso na direção do escape). Na bacia molecular, a bomba molecular de turbina é desempenhada pelas propriedades básicas através da lâmina do rotor e lâmina do stator

Características principais

Ambiente de ultravácuo sem óleo

Escape molecular de gás mecânico (escape dinâmico), a velocidade de escape é aproximadamente a mesma para todos os gases

· Emissões de gases raros e corrosivos

・Emissão contínua de gás de grande fluxo

Ampla gama de pressão de trabalho. (～10-10Pa).

OsakaBomba molécular composta de rolamento de suspensão magnética TG-M série

Utilize rolamentos de suspensão magnética para obter um escape sem óleo e um longo ciclo de manutenção. Produtos com velocidades de escape de 300L / s a 3400L / s.

TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M

Características da nova bomba turbomolecular de rolamento de suspensão magnética TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M

• Projeto de poupança de energia

• Os dados de trabalho, o número de contatos do rolamento, a inteligência da máquina, etc. podem ser armazenados no corpo da bomba molecular. ※ Os dados podem ser transferidos mesmo quando o controlador é substituído durante a manutenção

• Várias especificações de comunicação (compatível com EtherCAT)

• Especificações Internacionais

• Conforme às especificações CE, SEMI-S2 e NRTL

  Aplicação:

  
  

• Equipamento de fabricação de semicondutores

• Equipamento de fabricação FPD

• Equipamento de fabricação de células solares

• Processamento de componentes ópticos, como vidro/lentes

• Processamento de película fina

• Aceleradores/equipamentos experimentais para o ambiente espacial

  Parâmetros técnicos:

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