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wangxing@yzqjm.com
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Telefone
15316162949
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Endereço
No. 666, Zhenhua Road, Xihu District, Hangzhou, província de Zhejiang
Hangzhou Yuzhiquan Precisão Instrumento Co., Ltd.
wangxing@yzqjm.com
15316162949
No. 666, Zhenhua Road, Xihu District, Hangzhou, província de Zhejiang
Sistema de fotografia sem máscara de projeção digital_UVDSistema compacto de fotografia sem máscara de mesa, com tecnologia de microscópio digital para geração gráfica sem máscara de alta velocidade, com tamanho mínimo de característica de até 0,5 μm. Equipado com tecnologia de foco em tempo real de alta precisão e gravura visual, é usado principalmente para o desenvolvimento de protótipos rápidos em áreas como MEMS, dispositivos fotônicos, chips de computação quântica e sensores.
| Gravadora sem máscara_UVDParâmetros de desempenho | ||||
| Escrever cabeça | 50× | 20× | 10× | 5× |
| Dimensão mínima (μm) | 0.5 | 0.8 | 1 | 2.5 |
| Rugidade (3σ, nm) | 70 | 80 | 100 | 200 |
| Uniformidade do CD (3σ, nm) | 80 | 130 | 180 | 250 |
| Precisão de gravação 100 x 100mm² (nm) | 500 | 500 | 800 | 1000 |
| Velocidade de gravação mm²/min | 13 | 50 | 100 | 180 |
| Características do sistema | ||||
| Fonte de Luz | 405nm ou 385nm ou 365nm | |||
| Tamanho do substrato | Máximo de 8 polegadas | |||
| Espessura do substrato | 0,1 milímetro ~ 8 milímetros | |||
| Área de exposição máxima | 190×190mm² | |||
| Estabilidade de temperatura | ±0.1° | |||
| Nível da escala de cinza | 1024 | |||
| Escalabilidade | Suporte para a extensão de fontes de luz de comprimento de onda duplo | |||
| Características | ||||
| Modo de escrita de script | Fornece uma interface de programação scripteada que suporta estruturas de processamento personalizadas pelo usuário | |||
| Desenho de modo de processamento online | Suporta desenho on-line em tempo real, desenhe qualquer gráfico na tela em tempo real da amostra para processamento direto | |||
| Software de gravação e corte | Suporta vários formatos como JPG, TIFF, GDS, DXF e outros | |||
| Foco automático em tempo real | Foco óptico | |||
| Área de foco automático | 70 milímetros | |||
| Acessórios do sistema | ||||
| Objetivos | 5×,10×,20×,50×,100× | |||
| Tamanho do sistema | ||||
| Largura e altura | 850mm × 940mm × 780mm | |||
| 850mm × 940mm × 1470mm | ||||
| peso | 250KG (peso do anfitrião) | |||
| Condições de instalação | ||||
| Condições elétricas | 230VAC±5%, 50/60Hz, 10A | |||
| Temperatura ambiente | Temperatura: 21 ± 1 graus Celsius, umidade: 50% ~ 70%, sem condensação | |||
| Ar comprimido | 6-9bar, ± 0,5 bar | |||
| Iluminação Ambiental | Luz amarela | |||
| Nível de limpeza | Quarto limpo de nível superior | |||