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Hangzhou Yuzhiquan Precisão Instrumento Co., Ltd.
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Gravadora sem máscara

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Gravadora sem máscara_UVD: um sistema compacto de fotografia sem máscara de mesa que utiliza a tecnologia de microscópio digital para geração gráfica sem máscara de alta velocidade, com tamanhos mínimos de características de até 0,5 μm. Equipado com tecnologia de foco em tempo real de alta precisão e gravura visual, é usado principalmente para o desenvolvimento de protótipos rápidos em áreas como MEMS, dispositivos fotônicos, chips de computação quântica e sensores.
Detalhes do produto

Sistema de fotografia sem máscara de projeção digital_UVDSistema compacto de fotografia sem máscara de mesa, com tecnologia de microscópio digital para geração gráfica sem máscara de alta velocidade, com tamanho mínimo de característica de até 0,5 μm. Equipado com tecnologia de foco em tempo real de alta precisão e gravura visual, é usado principalmente para o desenvolvimento de protótipos rápidos em áreas como MEMS, dispositivos fotônicos, chips de computação quântica e sensores.

Gravadora sem máscara_UVDParâmetros de desempenho

Escrever cabeça

50×

20×

10×

Dimensão mínima (μm)

0.5

0.8

1

2.5

Rugidade (3σ, nm)

70

80

100

200

Uniformidade do CD (3σ, nm)

80

130

180

250

Precisão de gravação 100 x 100mm² (nm)

500

500

800

1000

Velocidade de gravação mm²/min

13

50

100

180

Características do sistema

Fonte de Luz

405nm ou 385nm ou 365nm

Tamanho do substrato

Máximo de 8 polegadas

Espessura do substrato

0,1 milímetro ~ 8 milímetros

Área de exposição máxima

190×190mm²

Estabilidade de temperatura

±0.1°

Nível da escala de cinza

1024

Escalabilidade

Suporte para a extensão de fontes de luz de comprimento de onda duplo

Características

Modo de escrita de script

Fornece uma interface de programação scripteada que suporta estruturas de processamento personalizadas pelo usuário

Desenho de modo de processamento online

Suporta desenho on-line em tempo real, desenhe qualquer gráfico na tela em tempo real da amostra para processamento direto

Software de gravação e corte

Suporta vários formatos como JPG, TIFF, GDS, DXF e outros

Foco automático em tempo real

Foco óptico

Área de foco automático

70 milímetros

Acessórios do sistema

Objetivos

5×,10×,20×,50×,100×

Tamanho do sistema

Largura e altura

850mm × 940mm × 780mm

850mm × 940mm × 1470mm

peso

250KG (peso do anfitrião)

Condições de instalação

Condições elétricas

230VAC±5%, 50/60Hz, 10A

Temperatura ambiente

Temperatura: 21 ± 1 graus Celsius, umidade: 50% ~ 70%, sem condensação

Ar comprimido

6-9bar, ± 0,5 bar

Iluminação Ambiental

Luz amarela

Nível de limpeza

Quarto limpo de nível superior