A fotogravura de duplos fotões é uma fotogravura baseada em materiais fotosensíveis que reage químicamente sob o efeito da absorção de duplos fotões. Este processo é diferente da fotografia de fotão único tradicional, onde um fotão único é capaz de desencadear a excitação de elétrons e produzir reações químicas, enquanto a fotografia de fotão duplo depende da absorção simultânea de dois fotões de baixa energia. Nesse caso, o material fotoquímico só pode ocorrer quando exposto a um laser de alta intensidade no foco.
I. Princípio básico da fotografia dupla
A fotogravura de duplos fotões é uma fotogravura baseada em materiais fotosensíveis que reage químicamente sob o efeito da absorção de duplos fotões. Este processo é diferente da fotografia de fotão único tradicional, onde um fotão único é capaz de desencadear a excitação de elétrons e produzir reações químicas, enquanto a fotografia de fotão duplo depende da absorção simultânea de dois fotões de baixa energia. Nesse caso, o material fotoquímico só pode ocorrer quando exposto a um laser de alta intensidade no foco.
A absorção de fótons duplos refere-se a quando o comprimento de onda do laser é mais longo, a energia de dois fótons pode ser absorvida simultaneamente pelo material, após o efeito de absorção de fótons duplos, algumas moléculas no material ocorrem saltos eletrônicos, mudando assim suas propriedades químicas. A chave deste fenômeno é que a reação de fotogravura de fótons duplos só ocorre na área de foco de alta energia, enquanto os materiais sensíveis à luz na área circundante não reagem devido à falta de energia de fótons, o que permite o processamento fino em nanoescala.
No processo de fotografia dupla, a intensidade do feixe laser e a sensibilidade à luz da cola fotográfica são dois fatores críticos. Os lasers de alta intensidade focados em espaços menores podem efetivamente desencadear a absorção de fótons duplos, levando a mudanças químicas como a reticulação ou a polimerização de materiais sensíveis à luz. Esta característica permite que a fotografia dupla permita a fabricação de gráficos de alta resolução no espaço tridimensional.
Características principais da fotogravura dupla
1. Ultra alta resolução
Em comparação com a tecnologia de fotografia de fotões únicos tradicionais, a fotografia de fotões duplos tem vantagens significativas, destacadas pela sua alta resolução. Como a fotografia de fótons duplos depende do efeito de foco dos fótons em áreas locais, a área de reação é quase limitada ao foco do feixe de laser, o que permite que a fotografia alcance precisões de pequenos a poucos nanômetros. Atualmente, a resolução da tecnologia de fotografia dupla alcançou a escala de 10 nanometros, muito além da tecnologia de fotografia tradicional, capaz de atender às necessidades de processamento em escala nanométrica.
2. Capacidade de processamento tridimensional
A tecnologia de fotografia dupla possui uma capacidade única de processamento espacial tridimensional. As técnicas fotográficas tradicionais geralmente gravam padrões apenas em planos bidimensionais, enquanto a fotográfica bifotônica é capaz de gravar com precisão no espaço tridimensional, controlando a posição de foco do laser. Essa capacidade de processamento tridimensional permite que a tecnologia de fotografia dupla tenha uma vantagem na fabricação de micronanoestruturas tridimensionais.
Alta sensibilidade à luz e controle preciso
A alta sensibilidade à luz permite iniciar reações fotoquímicas com uma potência laser muito baixa, o que torna o processo de processamento mais preciso e controlado. Ao mesmo tempo, o tempo de exposição e o tamanho de foco do feixe durante a gravura podem ser ajustados com precisão, melhorando ainda mais a precisão do processamento do padrão.
Efeito térmico baixo
Como a fotografia dupla ocorre apenas na área de foco do feixe, outras partes do material sensível à luz não são expostas ao laser, gerando relativamente pouco calor para evitar o efeito térmico que pode ocorrer no processo de fotografia tradicional sobre o material. Isso permite que a fotografia dupla tenha uma vantagem no processamento de alguns materiais sensíveis ao calor.
Alta seletividade e capacidade de dispersão inversa
A gravação fotográfica de dois fotões tem alta seletividade, só pode reagir sob a exposição de alta intensidade do foco do laser, e a área de reação é geralmente o foco do laser, portanto, pode evitar efetivamente a dispersão inversa e a interferência, melhorando a qualidade do padrão de gravação fotográfica.
Parâmetros gerais:
| Parâmetros do sistema | |
| Altura de impressão suportada | ≤10 milímetros |
| Máxima rugosidade da superfície(Ra)
| ≤5nm |
| Largura mínima da linha da característica | ≤50nm(XYplano) e≤300 nm(ZEixo)
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| Ciclo mínimo (XYplano)
| ≤300nm; Z≤600nm; |
| Velocidade máxima de digitalização | ≥100mm/s (1000mm/s@100)dupla objetiva)
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| Precisão de junção | ≤100nm(XYplano)
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| Área de gravação suportada (redonda) | Diâmetro4Polgadas (customizáveis)
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| Parâmetros do laser | |
| Comprimento de onda central | 515 ± 5nm |
| Potência média | ≥1W |
| Largura do pulso | ≤200fs |
| Estabilidade de potência | < 1% RMS |
| Qualidade do feixe | <1.2 |
| Frequência de repetição | 80 ± 5 MHz |
| Tamanho do sistema | |
| Tamanho da aparência | largo1700mm×Profundo1500 milímetros×alto2200 milímetros
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| peso | <2000kg |
| Condições de instalação | Sala limpa acima de mil;Isolamento sísmico superiorVC-C
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| Condições elétricas | 220/380VPotência> 5kW
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| Estabilidade ambiental | 20±1℃; ±0.1℃;Ruído<65dB;Umidade±5%(Controle de temperatura)
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| Ar comprimido | Filtrar para0,25 μmSem óleo, estável.0,5-0,6 MPaO fluxo deve estar500-800SLPM
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| Iluminação Ambiental | Luz amarela |