Controlador de pressão PC100

NegociávelAtualização em01/07

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Visão geral

O controlador de pressão PC100 é um produto digital de controle de pressão que fornece alta precisão e confiabilidade para o controle e medição da pressão do gás. Pode suportar sinais digitais e sinais analógicos de 0 a 5V simultaneamente, usando uma única fonte de alimentação. Além disso, o protocolo de comunicação aberto padrão facilita o desenvolvimento de software de controle e aquisição por parte dos clientes.

Detalhes do produto

Pontos de inovação

Tecnologia de sensor de pressão baseada em PTS

Por um lado, através da otimização de parâmetros duplos de pressão e temperatura, estabelecer um modelo de dados de pressão e temperatura para calcular a tabela de coeficientes de compensação para a compensação de temperatura; Por outro lado, melhorando a posição de instalação do sensor e reduzindo a forma como o volume da cavidade é detectado, o que torna a medição do sinal do sensor mais precisa e precisa para controlar a pressão.

Tecnologia de controle de pressão baseada em IA

Ao criar um modelo de dados de flutuação da pressão, identifique rapidamente os padrões de flutuação da pressão de fluxo fixo e flutuação do fluxo de pressão fixa. O PID de pressão é ajustado de acordo com os diferentes padrões de modo a pré-aumentar ou reduzir a tensão da válvula, com uma resposta rápida e uma estabilidade de controle.

Tecnologia totalmente metálica resistente à corrosão

Tecnologia de regulação de pressão proporcional com revestimento de flúor incorporado. A estrutura de vedação da válvula é feita principalmente de aço inoxidável 316L e tetrafluoro (PTFE). Os materiais PTFE podem melhorar a vida útil dos produtos e são adequados a vários tipos de gases corrosivos, enquanto a vedação é melhor do que a vedação metálica.

Área de aplicação

Semicondutores - Display

Semicondutores - Circuitos Integrados

Semicondutores - Iluminação

Energia Limpa - Fotovoltaica

Indicadores técnicos

modelo	do PC100
Tipo de pressão	pressão absoluta
Controle total da pressão	1000Torr e 1200mbar
Resistência à pressão	3MPa
Fluxo completo da boca da válvula	50, 500sccm; 1, 2, 3 e 5 SLM
Modo de controle	Upstream
Coeficiente de temperatura	Zero: ± 0,02% de F.s. / ℃; Span: ±0,04% da leitura / ℃
Resolução de pressão	0.1 Torr
Precisão de controle de pressão	±1,0% da leitura (≥10%FS); ±0,2% do FS (<10% FS)
Tempo de resposta	< 1,0 S
Intervalo de temperatura de funcionamento	10℃~50℃
Interface mecânica	Conjunto de cartão duplo 1/4 ', VCR 1/4 "
Tipo de válvula	Fechado frequentemente
Fuga externa	< 1x10^-10(scc/sec Ele)
Fuga interna	< 1,0% do fluxo completo da abertura da válvula (25 psig na entrada e na saída na atmosfera quando a válvula é fechada)
Alimentação	+15 ~ +24 VDC (<4 watts)
Interface elétrica	Pinos DB-9, conectores EtherCAT

Atenção:

Controlador de pressão de gás fábrica geralmente usa nitrogênio (N₂(Calificação.

A unidade de pressão do gás é Torr; mbar (milímetros)

O estado padrão é especificado como: temperatura - 273,15 K (0 ° C); Pressão atmosférica: 101325 Pa (760mm Hg)

Nos produtos de PC da Huacheng Electronics, a unidade SCCM é equivalente a "mL / min, 0 ° c, 1atm", e a unidade SLM é equivalente a "L / min, 0 ° c, 1atm".

F.S. (Full Scale): valor de escala completa. S.P. (Set Point): Definição do ponto

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