Controlador de pressão PC300

NegociávelAtualização em01/07

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Natureza do fabricante: Produtores

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Visão geral

O controlador de pressão PC300 é um controlador de pressão com função de medidor de fluxo completo, usado principalmente no campo dos semicondutores, por exemplo, em sistemas de resfriamento na parte de trás da wafer, para controlar a pressão de gases de resfriamento na parte de trás da placa de silício, como hélio, nitrogênio, argão e outros gases especiais.

Detalhes do produto

Pontos de inovação

Produtos totalmente digitalizados

Os produtos usam microprocessadores, com vantagens de alta inteligência, alta confiabilidade e manutenção fácil.

Tecnologia de duplo controle

Os produtos usam tecnologia de controle duplo para alcançar indicadores de desempenho de alta resposta e alta precisão.

Área de aplicação

Semicondutores - Circuitos Integrados

Semicondutores - Embalagem

Display semicondutor

Iluminação semicondutora

Semicondutores - Sistemas Micromecânicos

Semicondutores de potência

Semicondutores compostos

Indicadores técnicos

modelo	do PC300
Fluxo em escala completa	(10 20 50 100 200 500 5000) SCCM
Pressão total	(10 20 50 100) Torr
Modo de controle	A jusante
Precisão de controle de pressão	±0,2% do F.S.
Controle da repetitividade	±0,2% do F.S.
Tempo de resposta	<1.0 Segundo
Intervalo de temperatura de funcionamento	10℃ para 50℃
Tipo de válvula	Normalmente fechado
Taxa de vazamento	< 1x10^-12(SCC/SEC He)

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