Sistema de deposição química de fase de plasma

PECVDSistema de deposição química de fase de plasma

1. Limpeza do revestimento para eliminar a poluição secundária;

2. Estrutura aberta superior para facilitar a observação da amostra;

3. Os produtos usam controle totalmente automático, tela táctil, exibição digital;

4. Alto nível de integração do equipamento;

5. Alimentação de RF estável, distribuição uniforme da temperatura, melhorar a qualidade da membrana;

Modelo do produtoNBD-PECVD1200-80TI

Especificações elétricasAC220V 4KW

Temperatura Até1200 ℃

Temperatura contínua1150℃

Taxa de aquecimento ≤ 20 ℃/minutos

Alimentação RF300ou500W 13,56 MHz

Tamanho do forno Φ80 * 1200 milímetros

PECVDSistema de deposição química de fase de plasma

Sistema de controle

1eNBD-101EPInterface gráfica intercambiável em inglês no sistema operacional incorporado,7Entrada de tela táctil colorida real de polegadas, modo de diálogo humano-máquina inteligente, exibição de energia de aquecimento em tempo real, correção de temperatura de estilo não linear; Os relatórios experimentais são gerados de forma independente e os dados experimentais são exportados de forma ilimitada.

2O processo experimental é mais intuitivo e a operação é mais fácil;3Com alarme de sobretemperatura, dica de corte, proteção contra vazamentos e outras funções.

Precisão da temperatura+/- 1℃

Componentes de aquecimentoMoDopado.Fe-Cr-Al合金

Sistema de vedação

真空度： ≤10Pa(Bomba mecânica)

Medição e monitoramento da pressão O vácuômetro digital torna o vácuo do equipamento mais intuitivo e os resultados experimentais mais precisos.

O sistema de abastecimento de gás usa um medidor de fluxo de prótons de duas vias para controlar com precisão a velocidade do fluxo de gás e integrar-se com o equipamento;

Peso líquido360kg

Precauções para o uso do equipamento

1Temperatura do forno do equipamento ≥300℃, é proibido abrir a fogão para evitar danos;

2Quando o equipamento é usado, a pressão no forno não deve exceder0,125MPa(pressão absoluta) para evitar que a pressão excessiva cause danos ao equipamento;

3Quando usado sob vácuo, a temperatura do equipamento não deve exceder800℃。

4A pressão interna do cilindro de aço de fornecimento de gás é alta, quando o gás entra no tubo do forno, a válvula de redução de pressão deve ser instalada no cilindro de gás, recomenda-se usar uma válvula de redução de pressão pequena no teste de compra, a medida da válvula de redução de pressão é0,01MPa-0,15MPa,É mais preciso e seguro quando usado.

5Quando a temperatura do forno é superior a1000℃, o tubo do forno não pode estar no estado de vácuo, a pressão do ar no tubo do forno precisa ser equivalente à pressão atmosférica, mantendo-se no estado de pressão normal;

6Temperatura de uso prolongada de tubos de quartzo de alta pureza ≤1100℃

7No experimento de aquecimento, não é recomendado fechar a válvula de bombeamento e a válvula de admissão da flanja do forno. Se for necessário fechar a válvula de ar para aquecer a amostra, você deve sempre prestar atenção à amostra do medidor de pressão, se a leitura absoluta do medidor de pressão for maior que0,15 MPaA válvula de escape deve ser aberta imediatamente para evitar acidentes (por exemplo, quebra do tubo do forno, flange voando, etc.)

Suporte ao serviço1Garantia anual, suporte ao longo da vida (excluindo peças consumíveis, como tubos de forno e aneis de vedação, etc.).