Sistema de Polimento de Precisão

A série DL é da LogitechPossuiA solução de processamento inovadora é o mais recente sistema inteligente de preparação de amostras altamente automatizado. O sistema fornece controle dinâmico de carga para fixações pneumáticas inteligentes da Logitech, permitindo resultados rápidos, confiáveis e altamente precisos em uma ampla gama de aplicações de semicondutores.

A automação reduz significativamente o tempo de configuração e limpeza, enquanto o software integrado oferece uma plataforma fácil de usar com funções de usinagem precisas e controladas. As pinças pneumáticas inteligentes da Logitech usam a pressão do ar para aplicar pressão baixa de até 40 kg sobre as pinças e podem atingir velocidades de rotação de até 100 rotações por minuto, garantindo excelentes resultados de carga de amostras durante todo o processo. Estes recursos atendem às necessidades de até mesmo as aplicações mais exigentes.

Existem duas configurações disponíveis: o modelo DL81 com uma única estação de trabalho; Modelo DL82 com duas estações de trabalho. Sistema independente com placas de 600/700 mm de diâmetro. Até dois fixadores pneumáticos de precisão podem ser executados simultaneamente para processar amostras individuais grandes ou várias amostras menores. Os tamanhos máximos de amostras fixas podem ser de até 8 polegadas/200 mm ou de até 12 polegadas/300 mm para amostras de moagem livre.

Fixas de moagem elétricas que permitem uma alta precisão geométrica e uma rotação estável da amostra durante todo o processo, resultando em uma excelente e repetida uniformidade do wafer.

A fixação pneumática de precisão tem um sistema integrado de calibração de pressão sob a pinça e um braço de elevação automática da pinça para montar e levantar a pinça sobre a placa e virá-la para virar a face da pinça para cima para que o operador possa processar amostras. A fixação pode ser programada para levantar automaticamente quando a quantidade de remoção pretendida é atingida – automatizando a operação e evitando o excesso de usinagem. A taxa de remoção de materiais (MRR) pode ser monitorada e controlada com precisão em níveis de mícrons. O monitor de espessura da placa in situ avalia e controla o estado da placa. Em processamento. O protocolo EtherCAT reconhecido internacionalmente é usado para permitir a comunicação com as principais unidades de acionamento para identificar parâmetros úteis para o monitoramento e diagnóstico da máquina, enquanto um farol de tráfego industrial fornece alertas de estado da máquina. Pode acomodar até quatro cilindros para processamento multifásico. O aumento da capacidade do cilindro de 3,8 litros significa um processo de processamento mais longo e ininterrupto que pode ser usado para moer e polir a pasta. A unidade de alimentação de abrasivo, medida por bombas periféricas, permite que o operador ajuste um fluxo de 5 a 100 ml por minuto. Isso melhora significativamente a qualidade e a precisão dos resultados, ao mesmo tempo que reduz o desperdício e os custos operacionais. O sistemasimFechado e selado, com uma abertura de escape (diâmetro de 150 mm) que permite a instalação de conexões de extração para o tratamento de materiais perigosos, como arseneto de gálio (GaAs) ou fosfeto de índio (InP). Equipado com guindastes de manutenção para a manutenção segura e fácil de placas de polimento e moção. Pode ser levantado do solo para a área de trabalho, com um peso máximo de 200 kg e uma distância de esticamento de 380 mm. Análise e controle em tempo real dos parâmetros do processo, incluindo o fornecimento de abrasivos, através da interface gráfica do usuário (GUI) do sistema. Interface de usuário com tela táctil e tela de 15 polegadas. Este modo permite que os operadores criem, salvem e invoquem fórmulas de processo em várias etapas, garantindo que cada processo seja repetido, mesmo sob operações de operadores diferentes. O sistema integrado Logiwaste lida com resíduos de lama de forma eficiente. O tanque de precipitação pesada é selado com o disco de gotejamento para evitar a fuga de gás e é conectado de forma fácil de desmontar e remover para tratamento. A piscina de precipitação pesada está ligada à piscina de precipitação intermediária e ao tanque de armazenamento de líquidos.