Máquina de gravação iônica de reação RIE

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A CIF lançou a gravadora de íons de reação RIE, que usa o método de excitação induzida por íons de reação RIE para realizar a gravação microestrutural das propriedades opostas da superfície do material. Especialmente adequado para universidades, institutos de pesquisa científica, microeletrônica, laboratório de empresas de semicondutores para gravação de mídia, gravação de silício, gravação de metais e outras pesquisas. Custo de uso baixo, alta relação custo-benefício, fácil manutenção, manuseio rápido e eficiente. A gravadora iônica de reação RIE é adequada para gravação iônica de reação RIE em todos os substratos e configurações geométricas complexas.

Detalhes do produto

A CIF lançou a gravadora de íons de reação RIE, que usa o método de excitação induzida por íons de reação RIE para realizar a gravação microestrutural das propriedades opostas da superfície do material. Especialmente adequado para universidades, institutos de pesquisa científica, microeletrônica, laboratório de empresas de semicondutores para gravação de mídia, gravação de silício, gravação de metais e outras pesquisas. Custo de uso baixo, alta relação custo-benefício, fácil manutenção, manuseio rápido e eficiente.Máquina de gravação iônica de reação RIEGravação iônica de reação RIE para todos os substratos e configurações geométricas complexas.

Isso inclui:

Materiais dielétricos (SiO2, SiNx, etc.)

◆ sal do lago Sambh após a morte das aves pitorescas.

Materiais III-V (GaAs, InP, GaN, etc.)

Metais pulverizados (Au, Pt, Ti, Ta, W, etc.)

Tipo de diamante (DLC)

Áreas de aplicação:

Máquina de gravação iônica de reação RIEUsado principalmente para o desenvolvimento e fabricação de dispositivos em chips microeletrônicos, células solares, biochips, monitores, óptica e comunicações.

Características do produto

◆Interface de operação interativa em inglês em tela táctil colorida de 7 polegadas, controle automático para monitorar o estado dos parâmetros de processo, 20 programas de fórmula, dados de processo podem ser armazenados retrospectivamente.

◆O PLC controla todo o processo de limpeza, manualmente e automaticamente dois modos de trabalho.

◆Capacidade a vácuo, sistema de tubulação a vácuo completo 316 material de aço inoxidável, resistente à corrosão sem poluição.

◆Usando medidor de fluxo digital anticorrosivo, Controle preciso da entrada de gás. Sistema de transporte de gás duplo, Multigás opcionalsistema de transporte de gás, Pode importar oxigênio, argão, Gases como nitrogênio, tetrafluoreto de carbono, hidrogênio ou misturas de gases.

◆Adote o método de entrada de ar poroso com chuva para alterar a entrada de ar desigual de um único buracoProblemas adequados.

◆Filtração HEPA eficiente, reabastecimento de gás para evitar a poluição secundária.

◆De acordo com a funcionalidade humana.Design de interface de operação inclinada de 60 graus, fácil de operar e amigável com a interface.

◆Câmara de vácuo superior, design de tampa superior aberta, dobradiça de pressão baixa abertaFecha o caminho.

◆Posicionado em cimaProjeto de amostragem horizontal de 360 grausDe acordo com a funcionalidade do corpo humano, a operação é mais conveniente.

◆Grande área de processamento eficaz, pode lidar com o diâmetro máximoPlaca de silício cristalina de 154 mm.

◆Proteção de segurança, abertura da porta da cabine, desligamento automático da fonte de alimentação, transporte da máquinaSim, pare de sugerir.

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