Termômetro RTP EX-ET-222

Características principais

Descrição detalhada

Como pioneira na indústria de termopares de metais preciosos com mais de 30 anos, a BASF aplicou sua experiência em tecnologia de medição de temperatura à medição óptica de temperatura. BASF Exactus ® Os sensores de temperatura infravermelhos alcançaram avanços técnicos e demonstraram vantagens significativas de desempenho na medição de temperatura sem contato. A eletrônica sensível, a óptica de precisão e a capacidade de medir baixas temperaturas com comprimentos de onda curtos tornam o controle de processo mais rigoroso, mais preciso e melhor desempenho geral do que outros produtos semelhantes.

Termômetro RTP EX-ET-222Sobre o BASF Exactus ® A série apresenta muitas vantagens no controle da uniformidade da temperatura e da espessura da película entre os wafers: a eletrônica altamente sensível e a tecnologia óptica avançada significam que a energia radiacional pode ser medida com detectores de comprimentos de onda mais curtos, o que reduz os erros causados pela transmissão e emissão dos wafers. Além disso, a medição de alta velocidade e a alta resolução garantem um excelente desempenho no controle da temperatura e na supressão do ruído, proporcionando um melhor monitoramento da temperatura do wafer e processos de produção.

Termômetro RTP EX-ET-222Usando a forma de conexão de tubo óptico de conexão direta do sensor de cerca de 900nm em combinação com o IFM10-EC multicanal, até 10 pontos de medição e registro em tempo real podem ser alcançados, a gama de medição de temperatura cobre 250-1300 ° C, precisão de até 1,5 ° C, repetibilidade de 0,1 ° C. Adaptável ao sistema de temperatura RTP da AMAT.

BASF Exactus ® A série de equipamentos de medição de temperatura infravermelho tem sido amplamente usada em processos de semicondutores como cozimento rápido, oxidação rápida e deposição de película fina, e foi integrada em vários equipamentos MOCVD e outros equipamentos RTP como: AIXTRON, LPE, Premtek, AMAT, etc. Além disso, devido à sua alta precisão e estabilidade de medição da temperatura, ele também é usado como padronizador de temperatura por alguns fabricantes de fornos de alta temperatura, como a Thermogauge.

Aplicações típicas

Parâmetros técnicos