Tecnologia de Forno Maver de Xangai Sistema de PECVD de Plasma de Zona de Temperatura Única

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Visão geral

O MFLPECVD408-12 é um sistema de forno tubular para o sistema PECVD. Composto por forno de tubo de vácuo, fonte de energia de rádio-frequência, sistema de abastecimento de gás, sistema de vácuo. A temperatura máxima pode atingir 1.200 graus, com 30 procedimentos de termometro, termopar tipo K, forno de fibra cerâmica de óxido de alumínio de alta pureza, este dispositivo pode ser usado para o crescimento de nanofios ou para preparar vários filmes finas com o método CVD.

Detalhes do produto

Um,Descrição do produto

Dois.Características do produto

1, através da fonte de energia de radiofrequência para transformar o gás dentro da câmara de vácuo de quartzo em estado iónico.
PECVD é menor a temperatura necessária para a deposição de gás químico do que o CVD comum
3, o tamanho de tensão da película depositada pode ser controlado pela frequência da fonte de energia de rádio-frequência
O PECVD tem uma alta taxa de deposição de gás químico, boa uniformidade, alta consistência e estabilidade do que o CVD comum.
Amplamente utilizado em: o crescimento de várias películas finas, como: SiOx, SiNx, SiOxNy e silício amorótipo (a-Si: H), etc.

Parâmetros técnicos

Modelo de equipamento	MFLPECVD408-12 (em inglês)
Forno tubular	Gama de temperatura	Temperatura ambiente -1200 ℃
	Temperatura de funcionamento	≤1100℃
	Comprimento da zona de aquecimento	400 milímetros
	Tubo de quartzo	Diâmetro 80mm, comprimento 1400mm (diâmetros de tubo opcionais 50, 60, 100)
	Precisão de temperatura	＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃
	Flutuação da temperatura	± 1 ℃ (ponto de teste de 1000 ℃)
	Velocidade de aquecimento	Recomendado 1000 graus abaixo de ≤10 ℃ / min, velocidade de aquecimento mais rápida ≤30 ℃ / min
	Velocidade de resfriamento	700 ℃ acima de ≤10 ℃ / min
	Temperatura do forno	Temperatura da superfície do forno inferior a temperatura ambiente +10 (ponto de medição de 1000 ° C)
	Componentes de medição de temperatura	Termoparo tipo K
	Modo de temperatura	Controle de PID difuso e regulamento auto-integrado, controle inteligente programável de 30 segmentos, com alarme de hipertemperatura e interrupção
	Potência de tensão	220V 3KW
Sistema de abastecimento de gás	Canal do ar	Caminho 4
	Controle do fluxo da via de ar	Controlador de fluxo de prótons (medidor de fluxo de sete estrelas)
	Precisão de controle	± 1,5% F.S.
	Precisão de repetição	± 0,2% F.S.
	Escala de fluxo	1-500 SCCM
	Medidor de pressão mecânico	Um medidor de pressão mecânico no painel, e a conexão de irrigação misturada alcance: -0,1 ~ 0,15 Mpa



Sistema de vácuo Opção 1 (baixo vácuo: bomba mecânica)	fonte de alimentação	220V
	Vácuo máximo	5X10^-1Pa
	Taxa de bombeamento	2 litros por segundo
	Válvula de vácuo	O KF25
	modelo	O VRD-8
	Potência do motor	0,4 kw
Sistema de vácuo Opção 2 (alto vácuo: bomba mecânica + unidade de bomba molecular)	modelo	GZK-16-600
	fonte de alimentação	AC100-240 50 / 60HZ
	Potência	1kw
	peso	25 quilos
	Limite de pressão	*1,0 10-4Pa**
	Interface de entrada e escape	O KF40
	Fluxo máximo do refrigerador	10L / MIN
	Medidor de vácuo	Medidor de vácuo composto
	vácuoPrecisão de controle	± 1%
	Alcance de medição do vácuo	1.0x10 - 1.0x10-5pa
fonte de alimentação (Gerador de Plasma)	Gama de saída de potência	0-500W
	Estabilidade de potência	≤± 5W
	Frequência de trabalho	Radiofrequência:13,56MHZ ± 0,005%
	Método de correspondência	automático
	Método de arrefecimento	Ar frio
	Ruído	< 50dB







Segurança	Ambiente de trabalho	RT ± 5-40 ℃
	Garantia de uso	Desligamento da porta Alarme de sobretemperatura Proteção contra vazamentos Proteção contra sobretemperatura




	Forno tubular	Um.
Lista de fábrica	Sistema de vácuo	Um conjunto
	Sistema de abastecimento de gás	Um conjunto
	Alimentação RF	Um conjunto
	Luvas quentes	Casal de Carson.
	Gancho do forno	Um.
	Tubos de ar	Um.
	Instruções do equipamento	Uma.
	Instruções do instrumento	Uma.
	Cartão de Garantia	Uma.
Compras selecionadas	Estante móvel	aço inoxidável
Compras selecionadas	Instrumentos inteligentes de tela táctil	Programação de 50 segmentos para uma conexão com o computador. Controle remoto, rastreamento em tempo real, histórico, relatórios de saída e muito mais com um ou mais fornos elétricos através de um sistema de controle de computador dedicado.

Nota: Diâmetro do tubo opcional: 50/60/80/100/120/150/200/300 mm,

Zona de temperatura pode fazer zona de temperatura dupla, zona de temperatura tripla, etc. zona de temperatura múltipla,

Por favor, entre em contato com o atendimento ao cliente

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