Equipamento CVD de crescimento contínuo volume a volume pequeno

I. Breve apresentação

Equipamento de aquecimento:Aplicável principalmente ao tratamento térmico de materiais em pó em condições de alta temperatura ou ao crescimento de materiais de superfície de materiais em pó, o sistema de aquecimento rotativo é integrado com o sistema de controle da fogueira. O forno usa fibra de alumínio de alta pureza, com fio de resistência como elemento de aquecimento. O sistema de aquecimento foi projetado com uma estrutura aberta para cima e para baixo, facilitando a observação do estado dos tubos de quartzo e dos materiais. As duas extremidades do tubo do forno de quartzo são seladas com flanges de aço inoxidável, e a entrada de ar é conectada com junções rotativas para facilitar o processo de agitação. A extremidade de saída de gás assume a forma de vedação de fluido magnético, conectando a interface de bombeamento à bomba de vácuo para garantir que os experimentos possam ser realizados sob certas condições de pressão negativa. O projeto de zona de temperatura de aquecimento de quatro seções pode efetivamente estender o comprimento da zona de termostato, o fio de aquecimento é distribuído uniformemente e compactamente fora do tubo do forno, garantindo eficazmente que o material seja totalmente aquecido durante todo o processo e esteja em contato completo com o gás de reação. O termopar de controle de temperatura usa termopares do tipo K adequados para condições de baixa e média temperatura para melhorar a precisão do controle de temperatura. Este dispositivo facilita a proteção atmosférica do material durante todo o processo ou a experimentação com o vácuo.

O painel de controle do corpo do forno é equipado com um regulador de temperatura inteligente, um interruptor de alimentação de controle, um botão de controle de rotação do tubo do forno, um botão de trabalho / parada de aquecimento e um indicador de alimentação e segurança para observar o estado de funcionamento do sistema em qualquer momento.

Dispositivo volume a volume: Com base no equipamento original, adicionar o dispositivo de rolo de folha de cobre (forno rotativo de tubo e unidade de alimentação de rádio-frequência do cliente), PECVD pode ser trocado de direita para esquerda, e adicionar a tela táctil de 10 polegadas pode controlar os parâmetros de aquecimento da via do ar e do forno e do rolo de folha de cobre. Pressão normal e ambiente de pressão negativa do flange do forno;

Rota do gás：O medidor de fluxo de massa de 3 vias é equipado com um alcance de 200, 200 e 500 sccm, respectivamente;

vácuoParte:O vácuometer de resistência é equipado com uma bomba mecânica.

Parâmetros técnicos