Medidor de fluxo ultrasônico específico para controle de fluido de polimento para equipamentos CMP

Medidor de fluxo ultrasônico específico para controle de fluido de polimento para equipamentos CMP

Os conceitos básicos do polimento químico mecânico (CMP):

CMP， O polimento químico-mecânico é uma técnica para moer e polir com precisão a superfície de uma placa de silício por meio de uma combinação química e mecânica. É a base de hardware desta tecnologia que permite a planejamento global da superfície da placa de silício, fornecendo uma boa base para o processo subsequente. Os equipamentos CMP são equipamentos de processo chave no campo da fabricação de semicondutores.

Medidor de fluxo ultrasônico específico para controle de fluido de polimento para equipamentos CMP

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1- Equipamento básico do CMP

Principais processos do CMP

O processo CMP inclui três etapas principais: polimento, limpeza e transporte. Durante o processo de polimento, a composição química no líquido de polimento reage com o material da superfície do wafer, formando uma camada de película que pode ser removida mecanicamente, e a almofada de polimento remove essa camada por meio do efeito mecânico, alcançando assim a suavidade da superfície.

2) Os principais tipos de equipamento CMP

Os dispositivos CMP podem ser divididos em dispositivos compatíveis de 8 polegadas, 12 polegadas e 6/8 polegadas de acordo com as necessidades do lado da aplicação.

3) Principais áreas de aplicação de equipamentos CMP

É usado principalmente na área de fabricação de semicondutores, e a cadeia industrial de semicondutores pode ser dividida em quatro grandes laços: fabricação de materiais de wafer, design de semicondutores, fabricação de semicondutores e teste de embalagem. Além do projeto de semicondutores, existem aplicações de equipamentos CMP em outras áreas:

① Faixa de fabricação de materiais de wafer: no processo de polimento, é necessário aplicar o equipamento CMP para obter materiais de wafer planos.