Sistema de deposição de película fina por evaporação de resistência térmica

NegociávelAtualização em07/10

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DE400DL Sistema de deposição de película de evaporação resistente ao calor, ambiente de evaporação de alto vácuo ou ultra-alto vácuo, qualidade de película de alta qualidade e uniformidade e repetibilidade da espessura da película.

Detalhes do produto

O DE400DLSistema de deposição de película fina por evaporação de resistência térmica

　　1 Configuração do núcleo do sistema

Ambiente de vaporização: alto vácuo ou ultra-alto vácuo

Sistema de controle: PLC + PC totalmente automático

Transferência automática de amostras: LOAD LOCK

- Configuração opcional: limpeza de feixe de íons ou deposição auxiliar, caixa de luvas

　　2. Vantagens de desempenho principais

- Qualidade do filme: filme de alta qualidade, com excelente uniformidade e repetibilidade da espessura da película

- Precisão de controle: taxa de revestimento de alta precisão e controle da espessura da membrana

　　Materiais e processos aplicáveis

- Materiais depositáveis: metais, semicondutores, materiais médios, materiais orgânicos

- Tipo de película: película de camada única, película de camadas múltiplas, pode organizar a película de liga co-evaporada

Processo especial: vaporização de processo LIFT-OFF

- Banco de amostras: vários bancos de amostras padrão, bancos de amostras personalizados para preparar filmes de processo especial

　　4 – Aplicações

- Pesquisa e Desenvolvimento

　　热阻蒸发薄膜沉积系统

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