Thermo Scientific ™ Apreo ChemiSEM ™ Espelhos de emissão de campo são preferidos para imagens de alto desempenho e alta qualidade. Ele integra fluxos de trabalho automatizados de análise de componentes elementais e estruturais, permitindo que usuários de diferentes experiências tenham acesso fácil a dados de alta qualidade.

A Apreo ChemiSEM oferece soluções para grandes instituições de pesquisa e clientes industriais para uma grande variedade de amostras e usuários de diferentes níveis de experiência.TotalTecnologia de análise integrada com resultados de análise completos. Para laboratórios multifuncionais com vários usuários e vários tipos de amostras, as novas funções de integração de quadro inteligente (SFI), foco automático e dispersão automática do sistema otimizam automaticamente os parâmetros de captura de imagem e coletam dados sem ajuste manual. O sistema está sempre em bom estado e pode ser imagenado a qualquer momento, dando ao usuário mais tempo para se concentrar em obter os dados necessários.

Análise de fase de misturas compostas em aço com ChemiPhase. O ChemiPhase identifica eficazmente uma variedade de misturas, obtém frações de composição e área de misturas e detecta facilmente fases inesperadas para obter informações completas em uma única análise.

Características principais

Desempenho de imagem de alta resolução：Thermo Scientific ™ Trinity ™ Sistemas de detecção e tecnologia de automação simplificam a coleta de dados em várias aplicações

* Soluções de análise otimizadasO detector TrueSightPro EDS, a tecnologia ChemiSEM e o detector TruePix EBSD permitem uma caracterização completa das amostras

Fluxo de trabalho integradoCompatível com software MAPS, scripts personalizados e CleanConnect ™， A compatibilidade dá aos usuários controle total sobre o processo de análise

O sistema Apreo ChemiSEM integra três funções* para simplificar a operação e garantir a confiabilidade dos resultados: Thermo Scientic ™ ChemiSEM ™ Tecnologia, novo Diffractor de Elétronos de Dispersião Reversiva (EBSD) TruePix e exclusiva Thermo Scientic ™ Trinity ™ Sistema de detecção no espelho.

A tecnologia ChemiSEM usa algoritmos quantitativos totalmente automatizados em tempo real para apresentar características que não podem ser observadas apenas por imagem, fornecendo informações mais completas para as amostras. Este recurso funciona sempre e é fácil de usar, proporcionando resultados mais rápidos e ajudando a eliminar os preconceitos do usuário.

O detector TruePix EBSD funciona com o sistema Apreo ChemiSEM para ampliar a gama de aplicações. O novo software EBSD pode ser usado para controlar o detector e orientar o usuário na configuração de parâmetros, coleta de dados e processamento de dados.

O sistema de detecção no espelho Trinity permite a coleta sincronizada de informações de alta qualidade sobre a forma, superfície polar e composição sem o uso de um detector ETD ou BSD.

Com uma opção única de filtragem de sinal, a alta resolução ZUI de 0,9 nm é obtida a uma tensão de 1 kV sem redução do feixe de elétrons.

O sistema Apreo ChemiSEM combina imagens de alta resolução, análise elementar e análise estrutural para fornecer aos usuários ferramentas poderosas para analisar todos os tipos de materiais.

Óptica eletrônica

• Espelhos SEM de lançamento de campo de alta resolução apresentam as seguintes características:

– Pistola de lançamento de campo de base Short de alta estabilidade para fluxos de análise estáveis de alta resolução

– Lente final composta com combinação de lentes eletrostáticas, magnéticas sem vazamento e magnéticas imersivas (opcional)

Geometria do objetivo de 60°, permitindo uma inclinação de amostras maiores

– Apendice auto-aquecido para garantir a limpeza, sem interrupção de apendice de contato

Tecnologia SmartAlign: não é necessário que o usuário

• Pumpagem diferencial de vácuo através de lentes no modo de baixo vácuo (opcional) para reduzir o efeito de dispersão da saia, permitindo análise precisa e imagem de alta resolução ZUI

• Função de redução de feixe de eletrônicos com variação de sobretensão do banco de amostragem de -4.000 V a +600 V

• Variação contínua do fluxo de feixe, otimização do ângulo de abertura

• Desviamento de varredura dupla

• Instalação e manutenção simples da arma eletrônica: assado automático, arranque automático, alinhamento mecânico não necessário

• Modo PivotBeam para imagens de revestimento de canal eletrônico selecionado, também conhecido como modo Swing Electron Beam (limitado ao Apreo ChemiSEM tipo S)

Vida útil curta do fio ZUI: 36 meses

Tecnologia ChemiSEM

• TrueSight； Tamanho do detector: 25 ou 70 mm²

Resolução energética de até 125 eV @ Mn

Alcance de detecção de elementos Be-Am

Sensibilidade de elementos leves detectada ao silício (Si Lα)

Funções SEM-EDS integradas em uma única interface de usuário

• Armazenamento de dados baseado em projetos

Árvore de dados do projeto para gerenciar facilmente os dados

• Formatos de dados padrão da indústria

• Modo de análise dedicado para uma fusão perfeita entre os modos de varredura de pontos, linhas e superfícies

• Selecione os tipos de imagem eletrônica disponíveis na interface do usuário do xT SEM

• Geração de relatórios em um clique

• Remoção de picos e picos de fuga

• Reconhecimento automático de picos espectrais

• Superposição de picos e fundos sintéticos

• Quantificação precisa em uma ampla gama de distâncias de trabalho, fluxos de feixe e energia de feixe de eletrões

• O usuário pode definir a opção de incluir, excluir ou quantificar a falta de um elemento

• Selecção automática ou personalizada da linha KLM para análise quantitativa

• Remoção do fundo através da filtragem digital

• Análise quantitativa sem amostragem através do filtro ZUI

• Excelente quantificação de elementos leves com a correção de matriz PROZA

• Varredura de linha qualitativa e quantitativa para interromper o teste por tempo ou contagem

• Tecnologia ChemiSEM para quantificação rápida de superfícies em combinação com algoritmos de imagem eletrônica

• A varredura quantitativa está sempre ativa para fornecer varredura quantitativa para a extração de picos espectrais

• Contagem de varredura de superfície, suporte à seleção de linhas de elemento único

• Scan quantitativo com kernelização quadrada (opcional)

• Sobrepose imagens de digitalização múltiplas em imagens eletrônicas

• O usuário personaliza ou seleciona automaticamente a cor do elemento

• Capture e junte vários campos de visão através da montagem de navegação

• Compatível com o software MAPS para emparelhamento automático de múltiplos campos de visão

• Extração de espectros com pontos e quadros retangulares

• Extrair dados de varredura de linhas de imagens de varredura de superfícies de raios X selecionando com flexibilidade a direção, largura e ponto da linha

• Comparação de normalização de espectros múltiplos

• Correção de deriva com base em varredura de superfície DCFI

• Análise química de compostos de boros, carbonetos, óxidos e nitretos

• Identificação de fase em tempo real ou offline com a ChemiPhase por meio de análises estatísticas múltiplas

• ChemiView para reprocessamento offline e geração de relatórios para diferentes tipos de dados

Detector TruePix EBSD

• Detector EBSD eletrônico direto pixelizado híbrido

• Detector único, composto por um único módulo baseado em Timepix

• Zero ruído de leitura, alta relação de sinal para trás

• Zero distorção

• Contagem de partículas individuais

• Limitação energética

• Taxa de leitura de quadros de 2000 FPS

• Inserção do detector, calibração, otimização de padrões e configuração automática de varredura facial em um minuto

Software de coleta e processamento de dados EBSD

• Integração completa de sistemas de processamento de dados on-line e off-line

• Otimização automática do padrão: o sistema captura > 20 EBSPs de pontos aleatórios da área de captura para calibração de fundo de alta qualidade

• Medição de exposição ZUI grande: o sistema determina a exposição ZUI grande antes da saturação do sinal, quando o tempo de exposição excede a exposição ZUI grande para integração automática de quadro

• Correção automática de campo plano e melhoria do revestimento (programa de calibração disponível adicionalmente)

• Calibração automática do centro da amostra para diferentes posições do detector, distâncias de trabalho e ângulos de inclinação da amostra

• Pode sobrepôr qualquer tipo de imagem

• Histograma do tamanho do grão

• Remoção de ruído e melhoria de pixels

• Modelo de relatório personalizado pelo usuário

• Calibrar todos os sete sistemas de cristal e 11 grupos de Lauer

• Calibração simultânea

• Indicadores de qualidade de transformação de Fourier rápida e revestimento de padrão

• Correção central do padrão com baixa magnificação SEM

• Simulação e superposição cinética de qualidade adequada ao EBSP

• Diagrama de Euler, X/Y/Z antipolar (rolante, vertical, horizontal), diagrama de orientação Euler, fotográfico e varredura diferencial de orientação

Sistema de vácuo

• Sistema de vácuo sem óleo

• Bomba molecular de turbina de 1 x 240 l/s

• Bomba turbulenta PVP 1×

• 2 × IGP

• Vácuo do depósito de amostras (alto vácuo) < 6,3 x 10-6 mbar (após 12 horas de funcionamento da bomba)

• Tempo de bombeamento de vácuo: ≤ 3,5 minutos

• Modo de baixo vácuo (pressão da câmara de 10 a 500 Pa) (opcional)

• Dispositivo de carga automática com apendice de pressão limitada (PLA)

Banco de amostras

• Banco de amostras multifuncional padrão, que pode ser instalado diretamente no banco de amostras e pode acomodar até 18 bancos padrão de amostras (12 mm de diâmetro), três bancos pré-inclinados, bancos de amostras de secção e duas barras de amostras STEM pré-inclinadas (opcionais) (38° e 90°); Instalação de amostras sem ferramentas

• Cada carregador STEM opcional pode acomodar seis carregadores STEM

• Wafer e mesa de amostragem personalizada (opcional)

Resolução do feixe de eletrões

BD: Modo de redução do feixe de eletrões, WD: Distância de trabalho (a menos que seja indicado em contrário, a resolução é fornecida em termos de distância de trabalho de qualidade). Por padrão, as condições de teste de aceitação do sistema após a instalação final do ZUI são: 1 kV e 30 kV de alto vácuo e modo de imersão ativado, se aplicável.

Gama de parâmetros do feixe de eletrões

Gama de parâmetros do feixe de eletrões: 1 pA a 50 nA (400 nA opcional)

• Faixa de tensão de aceleração: 200 V - 30 kV

Rango de energia de pouso: 20 eV - 30 keV

Largura do campo de visão horizontal ZUI grande: 3 mm em 10 mm WD (zoom pequeno ZUI: 29x)

Armazém de amostras

Largura interna: 340 mm

Distância de trabalho de análise: 10 mm

• Portas: 12

Caracterização de partículas de óxido de magnésio de baixo kV (500 V) com redução de feixe de eletrões (BD). O BD melhora os detalhes da forma e reduz os efeitos de carga.

Detectores

O Apreo ChemiSEM combina arbitrariamente diferentes detectores ou partições de detectores (opcional) para detectar até quatro sinais simultaneamente:

• Sistema de detecção Trinity (dentro da lente e do espelho)

– T1 Detector de baixo nível dentro da lente dividida

– Detector médio dentro da lente T2

– Detector de alto nível no espelho T3 (opcional)

• TD: Detector de eletrônicos secundários Everhart-Thornley

• DBS: Detector de eletrônicos de dispersão traseira sob botas polares particionadas (opcional)

• Detector eletrônico secundário de baixo vácuo (opcional)

• DBS-GAD: Detector eletrônico de retrodispersão para análise atmosférica instalado em objetivos (opcional)

• Detector de partição escalável STEM 3+ (BF, DF, HADF, HAADF) (opcional)

• CCD infravermelho

• hermo Scientifc ™ Nav-Cam ™ Câmera de navegação (no armazém de amostras)