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E-mail
wangxing@yzqjm.com
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Telefone
15316162949
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Endereço
No. 666, Zhenhua Road, Xihu District, Hangzhou, província de Zhejiang
Hangzhou Yuzhiquan Precisão Instrumento Co., Ltd.
wangxing@yzqjm.com
15316162949
No. 666, Zhenhua Road, Xihu District, Hangzhou, província de Zhejiang
Aggregação de Fotões Duplos_MPD: A fotografia 3D sem máscara real, pode alcançar a fabricação de estruturas tridimensionais de nanoescala de alto grau de liberdade, o tamanho mínimo da característica pode chegar a 50nm. Fornecer uma excelente solução de fabricação tridimensional de alta precisão para o desenvolvimento de pesquisas em várias áreas, áreas de aplicação incluem, mas não se limitam a, dispositivos ópticos nano-nano, chips de micro / nano-fluido, interconexão óptica em chip, micromaquinaria, etc.
Aggregação de Fotões Duplos_MPDParâmetros:
| Parâmetros do sistema | Subsérie MPD-100 | Subsérie MPD-1000 | Subsérie MPD-2000 | |
| Dimensão mínima da característica horizontal (nm) | XY ≤80 | XY ≤80 | XY ≤50 | |
| Período mínimo horizontal/resolução (nm) | XY ≤300 | XY ≤300 | XY ≤200 | |
| Precisão de junção (nm) | ≤ 200 | |||
| Máxima rugosidade da superfície (nm) | ≤5 | |||
| NOTA: Os valores acima são apenas intervalos típicos para cada parâmetro, não valores limites. Exemplo: o tamanho mínimo da característica xy≤80nm, o tamanho mínimo da característica real pode ser alcançado abaixo de 80nm. | ||||
| Características e configuração (×-máquina padrão não incluída, √-configuração padrão, ○-pode ser adicionado) | Subsérie MPD-100 | Subsérie MPD-1000 | Subsérie MPD-2000 | |
| Foco de alta precisão | Precisão ≤25nm, compatível com substratos transparentes / opacos de silício, vidro, zafiro e outros | √ | √ | √ |
| Foco/regulação de diferença | × | ○ | √ | |
| Foco em 3D | × | ○ | ○ | |
| Alinhamento 3D | × | ○ | ○ | |
| Visualização multiparâmetro | √ | √ | √ | |
| Funcionalidade do script | √ | √ | √ | |
| Estratégia inteligente | 1. contorno / casca - preenchimento; | √ | √ | √ |
| Fixação / Substrato | 1. Inclui, mas não se limita a, metais, vidro (quartzo), zafiros, folhas de silício, etc. | √ | √ | √ |
| Monitoramento focal | √ | √ | √ | |
| Monitoramento de energia | √ | √ | √ | |
| Funções auxiliares | Ancoragem, medição, marcação, compensação de inclinação, rotação, etc. | √ | √ | √ |
| Cola fotográfica/materiais | Autogravura de fotons duplos, HBP, PPI-Dip, HBO-2, etc. | √ | √ | √ |
| Função de extensão 1: colagem automática | ○ | ○ | ○ | |
| Expansão 2: co-foco fluorescente | × | ○ | ○ | |
| Expansão 3: Expansão multicanal | ○ | √ | √ | |
| Informações de configuração de hardware (×-máquina padrão não incluída, √-configuração de máquina padrão, ○-pode ser adicionado) | Subsérie MPD-100 | Subsérie MPD-1000 | Subsérie MPD-2000 | |
| Sistema de Foco | Standard: Ampliação combinada 66 vezes, NA 1.42。 (outras dimensões e necessidades podem ser personalizadas) | |||
| Laser de segundos | Comprimento de onda central: 515nm/780nm (opcional) | |||
| Posto de deslocamento | XYZ行程: 100 milímetros x 100 milímetros x 25 milímetros | |||
| Eixo Z de alta precisão | Viagem: 75μm; Precisão: ≤10nm | |||
| Sistema de controle de temperatura | ○ | Sistema de controle de temperatura ambiente, precisão ± 0,1 ° C (o mesmo valor de referência de temperatura do laboratório externo, o laboratório externo precisa garantir uma estabilidade de temperatura superior a ± 1 ° C) | ||
| Sistema de Isolamento | ○ | Configuração de sistemas de isolamento ativo/passivo multinível | ||
| Condições de instalação (abaixo são as condições recomendadas, os parâmetros mais detalhados podem ser comunicados com o fabricante) | Subsérie MPD-100 | Subsérie MPD-1000 | Subsérie MPD-2000 | |
| Condições elétricas | Condições de alimentação | Cabo de alimentação 6 quadrados, 220V, 50Hz, 16A | ||
| Potência máxima / potência operacional | 4kW / 1kW | 8kW / 4kW | ||
| Condições ambientais | Luz amarela, sala limpa de milhares de graus e acima, grau de isolamento de vibração preferente ao VC-C, temperatura normal de laboratório, recomendado 21-23 ° C | |||
| Ar comprimido | Não obrigatório, apenas para isolamento ativo e fixações de mesa de adsorção | |||
| Área de uso recomendada | 2m × 2m | |||
| Dimensões | Corpo principal do equipamento (mm, largura x profundidade x altura) | 785×940×720 | 1300 x 1300 x 2200 (sem termostato 1900) | |
| Armário (mm, largura x profundidade x altura) | 620×800×1600 | 620×800×1600 | ||
| Peso total (kg) | <600 | <1200 | ||