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wangxing@yzqjm.com
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Endereço
No. 666, Zhenhua Road, Xihu District, Hangzhou, província de Zhejiang
Hangzhou Yuzhiquan Precisão Instrumento Co., Ltd.
wangxing@yzqjm.com
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No. 666, Zhenhua Road, Xihu District, Hangzhou, província de Zhejiang
Gravação UV_AODO equipamento de escrita direta a laser é usado principalmente para transferir padrões de microestrutura de exposição direta sem máscara para preparar componentes ópticos de difração e sistemas micromecânicos. Os vários substratos usados para revestir colóides fotográficos (por exemplo, vidro, folhas de silício ou outros materiais planos) são expostos diretamente sem máscara e servirão como componentes ópticos de difração e equipamentos de plataforma de processamento de sistemas microeletromecânicos.
| Gravação UV_AODParâmetros de desempenho de escrita direta | ||||||
| Escrever cabeça | Alta resolução | 100× | 50× | 20× | 10× | 5× |
| Dimensão mínima (μm) | 0.25 | 0.3 | 0.6 | 1 | 2 | 4 |
| Rugidade (3σ, nm) | 50 | 60 | 70 | 80 | 110 | 160 |
| Uniformidade do CD (3σ, nm) | 50 | 60 | 80 | 130 | 180 | 250 |
| Precisão de gravação 100 x 100mm² (nm) | 300 | 300 | 500 | 500 | 800 | 1000 |
| Velocidade de gravação mm²/min | 5 | 15 | 40 | 150 | 600 | 2000 |
| Tempo de gravação de 100×100mm² (min) | 3000 | 740 | 255 | 72 | 20 | 7 |
| Características do sistema | ||||||
| Fonte de Luz | 405nm ou 375nm | |||||
| Tamanho do substrato | Máximo 9 polegadas | |||||
| Espessura do substrato | 0,1 milímetro ~ 15 milímetros | |||||
| Área de exposição máxima | 200×200mm² | |||||
| Estabilidade de temperatura | ±0.1° | |||||
| Nível da escala de cinza | 4096 | |||||
| Escalabilidade | Suporte à expansão multicanal | |||||
| Características | ||||||
| Modo de escrita de script | Fornece uma interface de programação scripteada que suporta estruturas de processamento personalizadas pelo usuário | |||||
| Software de gravação e corte | Suporta vários formatos como JPG, TIFF, GDS e outros | |||||
| Foco automático em tempo real | Foco óptico | |||||
| Área de foco automático | 100 milímetros | |||||
| Acessórios do sistema | ||||||
| Objetivos | 5 x, 10 x, 20 x, 50 x, 100 x, lentes de alta resolução opcionais | |||||
| Tamanho do sistema | ||||||
| Largura e altura | 1320mm × 1320mm × 2000mm | |||||
| peso | 1100 quilos | |||||
| Condições de instalação | ||||||
| Condições elétricas | 230VAC±5%, 50/60Hz, 16A | |||||
| Temperatura ambiente | Temperatura: 21 ± 1 graus Celsius, umidade: 50% ~ 70%, sem condensação | |||||
| Ar comprimido | 6-9bar, ± 0,5 bar | |||||
| Iluminação Ambiental | Luz amarela | |||||
| Nível de limpeza | Milhares de quartos limpos | |||||