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Pequim Huacheng Electronics Co., Ltd.
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Interruptor de pressão de vácuo VS100

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Visão geral

O interruptor de pressão de vácuo VS100 usa sensores de pressão de resistência para detectar mudanças de pressão no meio, comparando com os pontos de ação de pressão predefinidos e convertendo a pressão em sinais de quantidade do interruptor. Aplicado em circuitos integrados, embalagens, iluminação de semicondutores, semicondutores de potência e semicondutores compostos.

Detalhes do produto

Pontos de inovação

Os pontos de pressão de ação podem ser configurados para reduzir eficazmente os tipos de materiais e as categorias de estoque do cliente

A configuração do ponto de ação da pressão inclui 75 a 735 Torr, 20 a 990 Torr, etc.

Alta precisão

Substituição de interruptores de vácuo mecânicos tradicionais.

Área de aplicação

Semicondutores - Circuitos Integrados

Semicondutores - Embalagem

Iluminação semicondutora

Semicondutores de potência

Semicondutores compostos

Indicadores técnicos

modelo do VS100
Configuração do ponto de ação de medição e pressão Dimensão Configuração do ponto de ação da pressão
Pressão 750 Torr 75-735Torr
Pressão 1000 Torr 20-990Torr
Pressão 750-750 Torr - 150-110Torr
Nota: o valor definido do ponto de ação da pressão é geralmente de 1% * FS ~ 99% * FS
Configurações padrão

Os modelos universais são padrões: alarme limite superior, ponto de ação 99% FS, atraso 2% FS.

A configuração requer software específico e cabos fornecidos pelo fornecedor.
Modelo personalizado de direção de alarme do equipamento, ponto de ação, atraso, de acordo com os requisitos, na fábrica concluiu a configuração relevante.

precisão ± 0,5% FS
Taxa de vazamento < 1x10-9atm.cc/sec Ele
Coeficiente de derivação térmica 0,1% FS / ℃
Intervalo de temperatura de funcionamento 0~80℃
Limite de pressão 2 vezes a pressão nominal
Pressão de explosão Cinco vezes a pressão nominal
Material do lado do processo 316L Ss SEMI F20 / Hastelloy C-276
Tensão de alimentação 24V ± 10% VDC
Saída Saída do relé de contato passivo (1NO, 1NC) Quando não está carregado, não é aberto, NC é desligado
Interface elétrica DB9 masculino
Configuração do ponto de ação Configuração pré-fábrica/configuração do cliente
tipo de interface 1.125 "C-selo / 1.125" W-selo / 4VCR / KF25 (NW25) / KF16