Medidor de ângulo de contato de wafer

Wafer de fluxo ThetaMedidor de ângulo de contato de waferÉ um instrumento de medição de ângulo de contato totalmente automático. O instrumento inclui o dispositivo principal do medidor de ângulo de contato óptico Theta Flow, que pode ser configurado com quatro goteadores automáticos com cabeça de gota descartável, movida horizontalmente e controlada por software, e um banco de amostras XYZ totalmente automático com rotação automática.

A medição do ângulo de contato no wafer é essencial para avaliar a umidificação e as propriedades de superfície desses materiais, amplamente utilizados na fabricação de eletrônica. Ao avaliar o ângulo de contacto das gotas com a superfície do chip, os pesquisadores podem obter uma visão mais profunda da energia superficial e das propriedades de adesão do silício. Essas informações são essenciais para otimizar processos como revestimento, fotografia e ligação na fabricação de semicondutores. Compreender os ângulos de contato ajuda a garantir a interação esperada entre os chips e os vários materiais usados ​​no processo de produção, melhorando o desempenho e a confiabilidade dos dispositivos eletrônicos.

Aplicações

• Estudar a limpeza da superfície

A medição do ângulo de contato avalia a limpeza do wafer para avaliar a remoção de poluentes e resíduos da superfície.

• Determinação da energia livre da superfície

Medindo o ângulo de contato, a energia livre da superfície pode ser deduzida, o que é essencial para entender como outros materiais interagem com o wafer.

• Conheça as propriedades de adesão

Os ângulos de contato ajudam a determinar as propriedades de adesão dos revestimentos e filmes finas aplicados ao wafer.

• Estudo de hidrofilidade/hidrofobia

A medição do ângulo de contato pode determinar se a superfície do wafer é hidrofílica ou hidrofóbica, afetando assim processos como fotografia e gravação.

• Para controle de qualidade

As medições regulares do ângulo de contato podem ser feitas como parte do processo de controle de qualidade para garantir a consistência no processamento e no processamento dos wafers.

Funcionalidades de software para medição do ângulo de contato do wafer

• Modo em lote para medições rápidas de várias linhas de wafers.

• Metodologia de sedimento padrão para uma análise mais aprofundada.

Mesa rotativa automática de wafer

A mesa de amostragem de wafers da série Theta é uma plataforma elétrica controlada por software para a rotação de wafers para medição automática do ângulo de contato de wafers de até 12 polegadas de diâmetro.

As mesas de amostragem de wafer da série Theta incluem mesas rotativas (T340R) e mesas de wafer (T340RW). A inserção da mesa do wafer ajuda a alinhar e posicionar o wafer com alta precisão. Os pinos de posicionamento também ajudam a manter o wafer na posição adequada durante o processo de medição. Para fixar ainda mais o wafer, também pode ser conectado à bomba de vácuo através de uma porta de conexão de vácuo incorporada.

O banco de amostras de wafers da série Theta é conectado ao banco de amostras automático XYZ para posicionar automaticamente wafers de até 12 polegadas de diâmetro. Para maximizar o desempenho da mesa rotativa, é recomendado usá-la em combinação com quatro goteadores descartáveis. Isso permitirá medições de energia livre de superfície automatizadas ou aumentar o número de medições contínuas usando apenas água.