Mesa de Detecção de Wafer

Mesa de Detecção de WaferÉ a plataforma de posicionamento de precisão integrada de 4 eixos XYZT, XYZ usa motor linear, guia de rolo cruzado de precisão, com excelente desempenho e precisão de posicionamento, a frequência de corte de carga vazia do eixo XY pode chegar a mais de 120Hz, com boa estabilidade de velocidade, usando a frequência de amostragem do interferômetro 5K acima da superfície superposta de 4 eixos para testar o erro de posição do segmento homogêneo CUBE-4, o erro de seguimento dinâmico STD por posição de 0,5mm é menor que 50nm. A frequência de corte de carga vazia do eixo Z pode chegar a mais de 200Hz. O eixo Theta é equipado com um motor rotativo direto, com guias redondas e rejas, para alta velocidade de rotação e alta precisão. Além disso, o eixo Theta possui um design escondido de afundamento que torna a altura geral do CUBE-4 mais baixa e a queda do ponto de trabalho favorece uma maior precisão de posicionamento em aplicações práticas.

Além disso, o eixo Z pode ser ajustado até ±50nm em 100 μm em 30ms. O CUBE-4 é uma precisão estática de ponto a ponto, com uma precisão dinâmica muito destacada, adaptada a aplicações de varredura de detecção biológica ou de wafer que exigem erros dinâmicos. O eixo Z pode ser ajustado em tempo real de alta velocidade de acordo com a altura da distância de trabalho do sensor para resolver os problemas de controle de movimento do cliente.

Teste de desempenho dinâmico de plataformas de quatro eixos da série CUBE-4

Teste dinâmico da frequência de amostragem do interferômetro 5k: a posição do segmento homogêneo XY segue o erro com desvio padrão inferior a 50nm por STD de 0,5 mm

Teste de passo mínimo para plataformas de quatro eixos da série CUBE-4

Passo do eixo Z de 100μm, ajustado a ± 50nm dentro de 30ms

Mesa de Detecção de WaferObservação

(1) medição paralela ou vertical à direção do bloco cuneio;

2) teste de carga vazia;

(3) Força ao longo do eixo;

(4) Adaptar-AS feedback, configurar amplificador linear;

(5) A posição padrão do ponto de teste é de 25 mm acima da mesa, o indicador de eixo único e os indicadores de desempenho do sistema de múltiplos eixos estão relacionados à carga real e à posição do ponto de trabalho;

(6) Outros itinerários podem ser personalizados.