Transporte de wafers

Transporte de wafersFOUP (porta de carga) e FOSB podem ser usados ​​para inspeções posteriores de baixo custo. O design seguro e ergonômico garante a eficiência e segurança do operador ao transportar os wafers, incluindo os finos e os deformados.

Design ergonômico para fácil operação

• O modo de inspeção pode ser definido livremente, considerando a operabilidade na engenharia de trás no projeto, prestando especial atenção à facilidade de operação do equipamento.

• Corresponde a dois modelos FOUP (Load Port) e FOSB, respectivamente.

Transporte de wafersTransporte robusto, confiável e seguro

Continua a robustez, confiabilidade e segurança dos modelos de geração anterior, permitindo o transporte seguro e confiável de wafers de 300 mm.

• Os wafers finas e Warped podem ser transportados com segurança.

• A localização de observação macro e a disposição centralizada das unidades operacionais melhoram o conforto de operação do equipamento.

Iluminação ideal para a descoberta de objetos estranhos, cicatrizes, manchas de membrana e desenfoque

A combinação de uma fonte de luz de halogeno metálico de alto brilho com iluminação de fibra óptica permite a iluminação total de uma fonte de luz fria de 300 mm.