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Endereço
Tecnologia da Terra de Wuxi
Categorias do produto
Wuxi Geocentric Tecnologia Co., Ltd.
Série ZTT-V2 Sistema de movimento personalizado de mesa inclinada
NegociávelAtualização em05/06
- Modelo
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- Produtores
- Categoria do produto
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Visão geral
ZTT-V2 Série O sistema de movimento personalizado da mesa inclinada é uma plataforma de posicionamento de precisão integrada de três eixos de elevação vertical e alinhamento horizontal, com acionamento de motor linear, acoplamento de articulação esférica de precisão, com excelente precisão micro-móvel e desempenho dinâmico. A altura geral é pequena, tamanho compacto, alta rigidez, capacidade de carga de até 10 kg, compatível com o ambiente de sala limpa. $r$n$r$nZTT-V2 possui precisão estática de posicionamento ponto a ponto, mas também uma precisão dinâmica muito destacada, que pode ser adaptada para aplicações como a detecção de wafers, alinhamento óptico, detecção de painéis ou fotografia sem máscara que exigem erros de micromovimentos e seguimento dinâmico.
Detalhes do produto
Série ZTT-V2 Sistema de movimento personalizado de mesa inclinadaÉ uma plataforma de posicionamento de precisão integrada de três eixos de elevação vertical e alinhamento horizontal, com motor linear, acoplamento de articulação esférica de precisão, com excelente precisão micromóvel e desempenho dinâmico. A altura geral é pequena, tamanho compacto, alta rigidez, capacidade de carga de até 10 kg, compatível com o ambiente de sala limpa.
Série ZTT-V2 Sistema de movimento personalizado de mesa inclinadaAo mesmo tempo que tem precisão de posicionamento estático ponto a ponto, também tem uma precisão dinâmica muito destacada, que pode se adaptar às aplicações como detecção de wafer, alinhamento óptico, detecção de painel ou fotografia sem máscara que exigem erros de micromovimentos e seguimento dinâmico, ajustando a altura e a posição angular em tempo real de acordo com a altura de foco do sensor, para resolver os problemas de controle de movimento do cliente em várias direções.
Passo mínimo para a plataforma ZTT-V2teste
Z em direção a 20nm
Estabilidade em cada eixo
| Nome do eixo | Z | θx | θy |
| Viagem válida\Travel | 5 milímetros | 2° | 2° |
| Precisão\Precisão | ± 0,3 μm | NA | NA |
| Precisão de Posicionamento Repetitivo Bi-Repeatability | ± 0,1 μm | ±0,1 arcsec | ±0,1 arcsec |
| Velocidade máxima (1) | 20 milímetros/s | NA | NA |
| Aceleração máxima (1) | 1 gr. | NA | NA |
| Passo mínimo incremental (2) | 20 nm | 0,05 arcsec | 0,05arcsec |
| Capacidade máxima de carga | 10 quilos | ||
| Peso da plataforma \Stage Mass | 8 quilos | ||
| Material da plataforma \Material | alumínio | ||
Observações:
(1) Carga vazia, é necessário configurar o amplificador da potência correspondente;
(2) A posição padrão do ponto de teste é de 25 mm acima da mesa.
Observações:
1) Unidade: mm;
(2) a conexão de cabo não é exibida;
Os desenhos 3D completos podem ser baixados.
Opções de configuração do produto
| Série de produtos | Tamanho da mesa | feedback |
| ZTT-V2 | -200 | AS |
Opções de feedback
| AS | Entrada analógica sinusoidal VPP de 1 volt |
