Revestimento a vácuo (como pulverização magnetrônica, revestimento de evaporação,PECVDAs principais necessidades sãoAlta manutenção de vácuo, baixa poluição, ritmo de processo estávelO material de vedação da válvula de vácuo, o diâmetro, a velocidade de abertura e fechamento devem ser adaptados à profundidade do processo (bombeamento de vácuo, revestimento, peça de trabalho para entrar e sair), a seguinte lógica de correspondência específica:

Material de vedação: adaptar-se ao vácuo e ao meio para eliminar a poluição

O material de vedação determina diretamente a taxa de vazamento, a resistência à temperatura e a liberação de poluentes da válvula, combinando o nível de vácuo do processo de revestimento e a escolha do tipo de meio:

1. Matrificação de materiais de vedação por vácuo

2. Requisitos especiais dos meios de processo

•Se o processo de revestimento utiliza gases corrosivos (por exemplo, cloro, fluoreto): escolha prioritáriaBorracha perfluorada (FFKM） ouSelo de liga Hashpara evitar que o envelhecimento da borracha cause falhas de vedação e vazamentos de gás;

•Se for um sistema de vácuo sem óleo (por exemplo, revestimento de semicondutores): o uso de materiais de vedação com óleo é estritamente proibido. “Certificação sem óleo”vedação de borracha ou metal, combinadoMKSA bomba de vácuo seca é usada para evitar a poluição do vapor de óleo na camada de revestimento;

•Processo de revestimento de alta temperatura (por exemplo, revestimento de evaporação de alta temperatura, temperatura >300℃:: Escolhavedação metálica (cobre, alumínio) Ou borracha fluorada resistente a altas temperaturas para evitar que o material de vedação se decomponga a alta temperatura para produzir poluentes.

3. Adaptabilidade ao sistema de detecção de vazamentos

A taxa de vazamento do material de vedação deve corresponder à precisão de detecção de vazamento do sistema de vácuo, a taxa de vazamento é recomendada≤10⁻¹⁰ Pa・m³/sVálvulas (comoMKSVálvula de vácuoFFKMvedação), forma um anel fechado com o espectrômetro de massa de hélio para garantir a estabilidade do vácuo da cavidade de revestimento.

Diâmetro de passagem: combinar as necessidades de fluxo e o ritmo do processo, equilibrar a eficiência e a manutenção do vácuo

O diâmetro de passagem (diâmetro interno da válvula) determina a velocidade de extração de gás e a capacidade de passagem da peça de trabalho, combinando o volume da cavidade de revestimento, o tempo de vácuo de extração e o tamanho da peça de trabalho:

1. Fórmula do núcleo de seleção de diámetro (versão simplificada)

DiâmetroD（milímetros）≈ √(V×S÷t)Entre eles:

•O VVolume da cavidade de revestimento (O L）；

•SA velocidade da bomba de vácuo (L / sComoMKS EDGEsérie de bombas de vácuo de apoio);

•tTempo de vácuo objetivo (s).

2. Diferentes cenas de revestimento correspondem ao diâmetro

3. Notas essenciais

•O diâmetro excessivo pode causar um aumento do risco de vazamento de vácuo, e é necessário uma bomba de vácuo com velocidade de bombeamento mais alta; Diâmetro muito pequeno prolongará o tempo de bombeamento de vácuo e reduzirá o ritmo da linha de produção;

•Sistema de revestimento multicanal (por exemplo, pulverização de magnetrônicos multialvo): canal de bombeamento principal com diâmetro grande (DN80 ~ DN125canal de ramificação com diâmetro pequeno (DN15 ~ DN40Realizar o controle de vácuo de partição.

Velocidade de abertura e fechamento: adaptação ao processo para evitar flutuações de vácuo e defeitos de revestimento

A velocidade de abertura e fechamento (o tempo da válvula de fechamento total a abertura total) deve ser ajustada de acordo com as necessidades principais do processo, para evitar velocidades muito rápidas./A lentidão excessiva causa flutuações de vácuo ou problemas de qualidade da camada de revestimento:

1. Correspondência de velocidades de diferentes processos

2. Sinergia entre velocidade e material de vedação

•Válvula de interrupção rápida: escolher materiais de vedação resistentes ao desgaste e ao impacto (como borracha fluorada, vedação metálica), evitando que as interrupções frequentes levem ao desgaste da vedação e prolongem a vida útil;

•Válvula amortiguadora: vedação de borracha de silicone mais elástica é opcional para reduzir a força de impacto quando a válvula é fechada e melhorar a confiabilidade da vedação.

3. Adaptação ao ritmo da linha de produção

•Linha de produção em massa (por exemplo, revestimento de vidro de telefone celular): selecione a válvula de desligamento rápido (0,1 ~ 0,3 s(combinação)MKSFunção de inicialização e parada rápida da fonte de energia de rádio-frequência, reduzindo o tempo de processo de lote único;

•Revestimento personalizado de alta precisão (por exemplo, lentes ópticas): válvula amortiguadora (2 ~ 3 sEvite flutuações de vácuo que causem defeitos como espessura desigual da camada de revestimento e diferença de cor.

IV. Caso de combinação integrada de seleção

a "100 litrosCavidade de revestimento de pulverização magnetrônica (alto vácuo)10⁻⁷ PaProdução em massa de vidro para celulares)”Por exemplo:

1. Material de vedação: escolhaFFKMBorracha perfluorada (baixa taxa de emissão, resistência à corrosão do plasma), correspondendo aos requisitos de vácuo ultra-elevados;

2. Diâmetro: Volume da cavidade de revestimento100 litrosA velocidade da bomba de vácuo50 L/sTempo de vácuo do alvo60 segundosCalcular o diâmetro≈√(100×50÷60) ≈9 milímetrosescolha prática.DN40（1.5'(1) Diâmetro de passagem, redundância reservada;

3. Velocidade de abertura e fechamento: fase de vácuo0,2 segundosAbra a válvula eletromagnética e alterne o meio de revestimento1,5 segundosDesligue a válvula pneumática para entrar e sair da peça de trabalho3 segundosAbra lentamente a válvula elétrica para equilibrar eficiência e estabilidade.

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