Máquina de polimento de diamantes

Máquina de polimento de diamantesÁreas de aplicação:

Amplamente utilizado em áreas relacionadas como polimento de diluição de substratos de materiais semicondutores, preparação de dispositivos, embalagem e MEMS, tais como TC-SAW, FBAR, laser, dispositivos fotonômicos de silício, TSV, SIP, Fan-out, sensores de pressão de alta temperatura MEMS, giroscópio MEMS, etc.

Máquina de polimento de diamantesAplicações técnicas:

Amplamente utilizado em materiais semicondutores compostos, filmes metálicos, materiais fotoelétricos e polimento plano, superfície e ângulo, os principais materiais de processamento incluem: nitreto de gálio, diamante, óxido de gálio, niobato de lítio, carboneto de silício policristalino, fibra óptica.

Área de aplicação: amplamente utilizado no polimento de substrato de semicondutores, preparação de dispositivos, embalagem e MEMS.

【Características do equipamento de polidor de polimento de semicondutores】

□ Máquina inteira anticorrosiva, adaptar-se aos requisitos de polimento químico convencional resistente à corrosão;

□ Monitoramento em tempo real on-line de espessura de remoção de amostras, precisão de 1μm;

□ Pode realizar o processo de polimento de superfície final e angular.

[Aplicação técnica]

Amplamente utilizado em materiais semicondutores compostos, filmes metálicos, materiais fotoelétricos e polimento plano, superfície e ângulo, os principais materiais de processamento incluem: nitreto de gálio, diamante, óxido de gálio, niobato de lítio, carboneto de silício policristalino, fibra óptica.

[Descrição do equipamento]

Todos os parâmetros de controle do programa de processo podem ser exibidos independentemente na tela;

○ A velocidade de rotação do disco de polimento pode ser ajustada de forma independente, com uma faixa de rotação de 0-120 rpm;

O tempo de trabalho pode ser definido de forma independente e o tempo de operação contínua pode ser de até 10 horas;

○ Pode exibir e indicar de forma independente a duração do trabalho real, desligando automaticamente após a conclusão do processo estabelecido;

○ Quando o processo de moagem é transferido para o processo de polimento, a substituição do disco de moagem e do disco de polimento é fácil e conveniente, toda a série de cabeças de moagem e acessórios são adaptados;

○ sistema de enchimento de controle automático, velocidade de gotas ajustável;

○ A amplitude e a velocidade da fixação podem ser controladas com precisão, e o intervalo de amplitude: 0-100;

○ Pressão de fixação ajustável, alcance ajustável até 7 kg;

Espessura de remoção de amostras controlável, precisão de remoção de 1 μm;

○ Equipado com uma unidade de vácuo independente, a amostra é fixada sobre a fixação por adsorção de vácuo;

O componente fixo pode ser personalizado para realizar o processo de deslizamento de superfície e ângulo.