Gravadora eletrônica Elionix

Introdução

O ELS-F125 é um dos sistemas de exposição de feixe de eletrões da Elionix que acelera a tensão de até 125 KV, com gráficos finos processáveis ​​com largura inferior de linha limitada a 5 nm. (Os seguintes parâmetros são baseados no ELS-F125)

O ELS-F125 apresenta as seguintes vantagens:

Alta precisão de escrita

Precisão de largura de linha de 5 nm @ 125 kV

- Diâmetro do feixe de elétrons de 1,7 nm e efeito de proximidade minimizado @ 125 kV

Alto fluxo, boa uniformidade

- Ultra grande campo de visão de escrita: largura de linha de 10 nm no campo de visão de 500um

- Diâmetro do feixe de elétrons sob fluxo de feixe alto ainda é pequeno, alto fluxo sem afetar a resolução, 2 nm diâmetro do feixe de elétrons @ 1 nA

Interface amigável ao usuário

Interfaces CAD e SEM baseadas em sistemas Windows:

- Função de desenho fácil de usar

- Condições de feixe de eletrônicos fáceis de controlar

II. Funções principais

l Aplicações principais

Microestrutura de nanodispositivos

Dispositivos ópticos integrados, como rasters, cristais de fótons, etc.

Estruturas NEMS, estruturas finas complexas

Modelo de máscara fotográfica, modelo de impressão

l Capacidade técnica