GSL-1800X-ZF-AM Sistema de revestimento contínuo de evaporação multicâmara

Perfil do produto

GSL-1800X-ZF-AM Sistema de revestimento contínuo de evaporação multicâmaraÉ um revestimento de evaporação contínuo de alto vácuo, composto principalmente de duas partes da câmara de transmissão e da câmara de revestimento de evaporação, o suporte pode realizar movimentos de retorno na câmara de transmissão e na câmara de pulverização, controlado pelo motor de frequência modular, operação sincronizada automática, e a posição de retorno e a velocidade de movimento podem ser definidas, ambas as câmaras têm funções de posicionamento para alcançar a reposição do ponto de origem. Especialmente adequado para vaporização de membranas metálicas mais sensíveis ao oxigênio (como Ti, Al, Au, etc.) e matérias orgânicas de pequenas moléculas. A máquina tem 4 barcos de aquecimento de vaporização, cada barco de aquecimento pode ser vaporizado de forma independente, o barco de aquecimento tem um reborde rotativo acima, quando um dos barcos de aquecimento é vaporizado, o reborde cobre os outros três barcos de tungstênio para evitar a poluição mútua entre os materiais de vaporização. Se a alteração da configuração parcial também pode realizar o revestimento de evaporação de materiais orgânicos, que pode atender aos requisitos de pesquisa em dispositivos emissores de luz e células solares orgânicas, é um revestimento ideal e um equipamento experimental de alto custo. A base da cavidade do revestimento de evaporação GSL-1800X-ZF4 é equipada com 5 eletrodos refrigerados por água, que protegem eficazmente a temperatura do eletrodo durante o processo de trabalho contra a fusão devido à temperatura excessiva, o que danifica o eletrodo. A máquina usa câmara metálica, com alto vácuo, o vácuo pode atingir 5,0 x 10^-7torr， A mesa de amostra pode aquecer a amostra, a temperatura de aquecimento é de temperatura ambiente -500 ℃, é um equipamento para o revestimento de evaporação de alto vácuo.

Características principais

• Consiste em duas partes principais, a câmara de transferência e a câmara de revestimento de evaporação, para obter um revestimento de evaporação de amostragem rápida e contínua.

• Todas as unidades de controle de vácuo estão reunidas em uma caixa de controle.

• Com um controlador de corrente de vaporização independente, a operação é fácil e rápida.

• A câmara de vácuo possui 1 válvula lateral KF40 (conectada diretamente à bomba mecânica anterior para aumentar a eficiência), 1 válvula de porta CF150 (conectada diretamente à bomba molecular), 1 flange KF16 (para a instalação de um regulador de resistência), 6 flanges CF35 (para a instalação de um ionizador, 1 para a instalação de um eletrodo de 2 núcleos e 1 para a instalação de um espessurômetro de membrana) e 3 repositórios.

• Five eletrodos refrigerados a água estão equipados na parte inferior da câmara para suportar quatro barcos de aquecimento por vaporização.

• A mesa de amostragem é instalada no topo da cavidade.

• O medidor de espessura de película de alta resolução pode ser instalado na cavidade, com uma resolução de medição da espessura da película (alumínio) de 0,1 Å.

• Pode ser usado refrigerador de água circulante.

Parâmetros técnicos