VTC-600GC-AM contínuo sistema de revestimento de pulverização de magnetrônio de câmara múltipla

Perfil do produto

VTC-600GC-AM contínuo sistema de revestimento de pulverização de magnetrônio de câmara múltiplaÉ um novo equipamento de revestimento desenvolvido independentemente, composto principalmente por duas partes da câmara de transmissão e da câmara de revestimento de pulverização, o suporte pode realizar movimentos recíprocos na câmara de transmissão e na câmara de pulverização, controlado pelo motor de frequência modular, operação sincronizada automática, e a posição recíproca e a velocidade de movimento podem ser definidas, ambas as câmaras têm funções de posicionamento para alcançar a reposição do ponto de origem. Pode ser usado para preparar películas ferroelétricas de camada única ou múltipla, películas condutoras elétricas, películas de liga, películas de semicondutores, películas de cerâmica, películas de meios, películas ópticas, películas de óxidos, películas rígidas, películas de tetrafluoroetileno, etc.VTC-600GC-AM contínuo sistema de revestimento de pulverização de magnetrônio de câmara múltiplaPode ser equipado com várias armas de alvo, com uma fonte de energia de radiofrequência para o revestimento de pulverização de alvos não condutores e com uma fonte de energia de corrente contínua para o revestimento de pulverização de materiais condutores. Em comparação com o equipamento semelhante, ele não só é amplamente utilizado, mas também tem a vantagem de um pequeno volume para a operação, é um equipamento ideal para preparar materiais finas em laboratório, especialmente adequado para pesquisas de laboratório sobre eletrólitos de estado sólido e OLED.

Características principais

• Consiste em duas partes principais, a câmara de transferência e a câmara de revestimento de pulverização, para obter um revestimento de pulverização de amostragem rápida e contínua.

• Pode ser equipado com várias armas de alvo, com a fonte de energia de radiofrequência para o revestimento de pulverização de alvos não condutores, com a fonte de energia de corrente contínua para o revestimento de pulverização de materiais condutores (a arma de alvo pode ser trocada arbitrariamente de acordo com as necessidades do cliente).

• Pode ser preparado uma variedade de filmes finas, com amplas aplicações.

• Tamanho pequeno e fácil de operar.

• O design modular da máquina inteira, câmara de transmissão, câmara de vácuo, conjunto de bomba de vácuo, design de divisão de energia de controle, pode ser ajustado de acordo com as necessidades reais do usuário.

• A fonte de energia pode ser escolhida de acordo com as necessidades reais do usuário, uma fonte de energia pode controlar várias armas de alvo ou várias armas de alvo de controle único.

Parâmetros técnicos