HF-5-20

NegociávelAtualização em01/29

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Visão geral

Visão geral grau de liberdade 1 curso [mm]20 elevação [N]5 dimensões iniciais [mm]80x25x61 peso [g]275 desempenho de posicionamento velocidade de abertura do anel [mm/s]2 resolução de posicionamento do anel aberto [nm]resolução de posicionamento do anel fechado [nm]2 precisão de reposicionamento do anel fechado [nm] 60 materiais opcionais com base de alumínio

Detalhes do produto

Visão geral
Grau de liberdade	1
Percurso [mm]	20
Elevação[N]	5
Dimensão inicial [mm]	80 x 25 x 61
Peso [g]	275
定位性能
Velocidade de abertura [mm/s]	2
Resolução de localização de anel aberto [nm]	<1
Resolução de localização em circuito fechado [nm]	2
Precisão de reposicionamento em ciclo fechado [nm]	±60
Opção
material	Base de alumínio padrão; Suporte de aço opcional (-ST), titânio (-TI); Anodização preta média (-BK)
Compatível com vácuo (HV)	1E-6 mbar
高真空兼容 (UHV)	1E-10 mbar
Sem magnética	Pode ser personalizado de acordo com o pedido

* Todos os parâmetros das especificações técnicas são aproximados e, devido ao desenvolvimento contínuo do produto, reservamos-nos o direito de alterar as especificações técnicas sem aviso prévio.

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