| Visão geral |
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| Grau de liberdade |
1 |
| Percurso [mm] |
±5 |
| Elevação[N] |
8 |
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Tamanho inicial[mm]
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50 x 61 x37
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| Peso [g] |
165 |
| 定位性能 |
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| Velocidade de abertura [mm/s] |
>2 |
| Resolução de localização de anel aberto [nm] |
<1 |
| círculo fechadoResolução de Posicionamento [nm] |
2 |
| círculo fechado重定位精度[nm]
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±60 |
| Opção |
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| material |
Base de alumínio padrão; Suporte de aço opcional (-ST), titânio (-TI); Anodização preta média (-BK) |
| Compatível com vácuo (HV) |
1E-6 mbar |
| 高真空兼容 (UHV) |
1E-10 mbar |
| Sem magnética |
Pode ser personalizado de acordo com o pedido |
* Todos os parâmetros das especificações técnicas são aproximados e, devido ao desenvolvimento contínuo do produto, reservamos-nos o direito de alterar as especificações técnicas sem aviso prévio.