Detector de conteúdo elementar de alta precisão em materiais semicondutores

Detector de conteúdo elementar de alta precisão em materiais semicondutores

Tecnologias e instrumentos de teste básicos

1. Espectrómetro de emissão de plasma acoplado por indução (ICP-OES)

• Instrumentos utilizados em laboratório (ICP-OES)DetalhesIntrodução：

• InstrumentosCaracterísticas do desempenho:

• 1,Alto nível de automação do instrumento

• Nível de automação do instrumentoaltoExceto os interruptores de alimentação, todas as operações são realizadas pelo software. O software inteligente fornece feedback e informações em tempo real sobre todas as operações.

• 2,Energia de RF de estado sólido segura e confiável

• A fonte de energia de radiofrequência usada pelo instrumento, com pequeno volume, alta eficiência de saída, potência de saída estável, com vários tipos de funções de proteção de segurança, como vias de água, vias de gás e sobrecarga, melhora significativamente a segurança do instrumento e reduz a taxa de falha do instrumento.

• Tecnologia de ignição e correspondência totalmente automática

• O software é totalmente automático com um clique e todas as mudanças de configuração de parâmetros são completadas automaticamente. Com a tecnologia de correspondência automática, a taxa de sucesso da ignição é alta e fácil de operar.

• Função de monitoramento de chama inteligente

• O instrumento configura a sensibilidadealtoO sensor de fibra óptica, no estado de trabalho do instrumento, pode monitorar em tempo real a situação de trabalho da chama, em caso de desligamento anormal, o instrumento pode ser desligado automaticamente.

• Sistema óptico de alta resolução

• O instrumento é equipado com uma resolução ultra-alta.4320 gravação de raster de importação, com*Tecnologia de regulação óptica para aproximar a resolução do instrumento comum0,008nm reduzido a 0,005nm, a resolução ultra-alta garante que não há interferência mútua entre os elementos de teste.

• 6 eprecisãoaltoSistema de termostato

• O circuito óptico geral do instrumento é protegido pelo sistema de termostato de precisão, o controle da temperatura pode ser ajustado em tempo real de acordo com a temperatura ambiente real do laboratório do cliente, sem necessidade de abertura ininterrupta por um longo tempo, precisão de controle da temperatura≤± 0, 1 ° C, o sistema de termostato de precisão garante a estabilidade do caminho óptico e os dados de teste são mais estáveis.

• Sistema de controle de fluxo de ar de alta precisão

• No trabalho do instrumento, o gás de plasma, o gás auxiliar e o gás transportador usam todos controladores de fluxo de massa de alta precisão (MFC) para controlar, com fluxo contínuo ajustável, alta precisão do fluxo de ar de saída, garante a precisão dos dados de teste.

• 8 eDispositivo de amostragem de bomba periférica

• O instrumento é equipado com uma bomba periférica de alta precisão com doze rolos de canal, que garante a precisão da amostra e evita a acumulação de líquido, e a velocidade de rotação da bomba periférica é ajustável continuamente para atender a vários requisitos de teste do cliente.

• Ajuste automático da posição de observação

• O instrumento é projetado com uma plataforma móvel bidimensional para ajustar a posição do tubo de tocha em tempo real através do software e encontrar a posição de observação otimizada através do valor do sinal de feedback para obter uma maior sensibilidade e obter resultados de teste precisos.

• 10 Custos de utilização ultra-baixos

• No estado de não funcionamento do instrumento, a fonte de energia do instrumento, o tanque de água de resfriamento e o gás estão todos fechados, sem gerar nenhum custo, o trabalho do instrumento está aberto e pronto para uso, sem necessidade de pré-aquecimento de longo tempo. A pureza do argão é99, 99.*Sem 99, 999% de argônio de alta pureza, poupa pelo menos um terço dos custos.

• 11 SensibilidadealtoO detector

• O instrumento é equipado com um multiplicador fotoelétrico de importação de alta sensibilidade (Como um detector, os parâmetros de teste podem ser definidos automaticamente para diferentes elementos a serem testados para alcançar o estado de teste ideal e dar resultados precisos. Sem refrigeração, sem limpeza e longa vida útil.

• ICP-OESInstrumentosParâmetros técnicos:

• 1, fonte de alimentação de entrada: tensão AC 220V, corrente 20A.

• 2,AdopçãoCaminho óptico tipo CzernyTurner com distância focal de 1000 mm.

• Gravação iónica holográfica, área de gravação (80 x 110) mm.

• 4 eIgneção automática com um clique, combinação automática, ignição estável e conveniente.

• 5, uso de nebulizador círculo concêntrico com câmara de neblina de fluxo rotativo, 1ppmMn força > 1000000cps.

• Resolução (Mn257, 610nm): ≤0, 005nm (4320 rastre de linha gravada); ≤0, 008nm (rastre de linha gravada 3600); ≤0, 015nm (rastre de linha gravada 2400).

• 7, faixa de comprimento de onda: 190-460nm (4320 rastre de gravação); 190-500nm (3600 rastres de gravação); 190-800nm (2.400 rastres de gravação)

• 8, independente de pesquisa e desenvolvimento de energia de rádio-frequência em estado sólido, potência de saída 800-1600W, ajustável contínuamente, eficiência de energia maior que 65%, frequência de trabalho 27, 12MHz, estabilidade de frequência <0, 05%, estabilidade de saída de potência <0, 05%.

2. Espectrómetro de fluorescência de raios X (XRF)

• Detecção rápida de contaminantes metálicos na superfície do silício.

• Verificação da pureza do crucel de quartzo.

• Baixa sensibilidade a elementos leves (H, He, Li e Be) (limite de detecção > 0,1%).

• A precisão quantitativa é afetada pelo efeito do matriz (erro relativo de aproximadamente 1%-5%).

• Detecção não destrutivaAs amostras não precisam ser dissolvidas ou moedas e podem ser analisadas diretamente em sólidos, pó e líquidos.

• Ampla gama de testesÉ possível analisar a grande maioria dos elementos do sódio (Na) ao urânio (U).

• Triagem rápidaO tempo de teste leva apenas alguns segundos a alguns minutos, adequado para testes em lote na linha de produção.

• Difusão de comprimento de onda (WDXRF)Alta resolução, adequada para análise quantitativa de alta precisão.

• Difusão de energia (EDXRF)Rápido, portátil e adequado para análise de campo.

• PrincípiosA amostra é irradiada com raios-X para estimular os raios-X fluorescentes característicos e determinar o tipo e o conteúdo de elementos através da detecção de comprimento de onda e intensidade.

• Categorias：

• Vantagens：

• 局限性：

• Aplicações：

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