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Endereço
No. 5500, estrada Yuanjiang, distrito de Minhang, Xangai
Shanghai Maikewei Semiconductor Technology Co., Ltd
No. 5500, estrada Yuanjiang, distrito de Minhang, Xangai
Características principais:
√ Faixa de temperatura 4,3 K ~ 475 K
√ Temperatura baixa opcional 1,9 K/1,6 K
√ amostra padrão de 2 polegadas (51 mm), 4 polegadas (102 mm) pode ser personalizada
√ A amostra pode girar ± 5 ° dentro da face
√ Vibração da amostra <30 nm opcional
√ Opção de vácuo ultra-alto
√ As amostras de transferência combinadas com a cavidade de vácuo podem ser personalizadas para evitar a exposição da amostra ao ambiente atmosférico
√ Máximo 0.19T de opção de ímãs de anel
Parâmetros do equipamento:
Faixa de temperatura
Instalação de até 6 braços de sondaTemperatura de base 4,3 K, faixa de controle 4,4 K a 475 K
Instalação da opção de baixa temperatura PS-LTTemperatura de base 1,9 K, faixa de controle 2 K a 475 K
Instalação da opção PS-VLT-CPX Extremely Low TemperatureTemperatura de base 1,6 K, faixa de controle 1,65 K a 400 K
Instalação da opção PS-LL-CPX (Load Lock)Temperatura de base 10 K, faixa de controle 10 K a 400 K
Estabilidade de temperaturaHélio líquidoNitrogeno líquido
Temperatura de base (sem controle de aquecimento)±15 mK±20 mK
<10 K±50 mK
10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK
101 K ~ 250 K±15 mK±50 mK
251 K ~ 350 K±15 mK±100 mK
351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK
VácuoGrupo de bomba molecular TPS-FRG como padrãoOpção de alto vácuo PS-HV-CPX
Tempo de vácuo30 min (<1 × 10-3 Torr)10 min (<1 × 10-3 Torr)
Temperatura ambiente< 5 × 10-4 Torr< 5 × 10-6 Torr
Temperatura de base< 1 × 10-5 Torr< 5 × 10-7 Torr
temperatura máxima< 1 × 10-5 Torr< 5 × 10-7 Torr
Tempo de ciclo
Ciclo total3 horas
Pumpar vácuo0.5 h
Refrigeração da sonda1.25 h
Aquecimento da sonda2 horas
Load Lock Tempo de substituição da amostra1 hora (com opção PS-LL-CPX)
amostras
Tamanho máximo51 mm (2 polegadas) padrão
Opção de alto vácuo PS-VLT-CPX para instalação de 25,4 mm (1 polegada)
Opção de bloqueio de carga PS-LL-CPX para instalação de 25,4 mm (1 polegada)
Interface de iluminação de amostraNão opcional
Rotação da amostra±5° de rotação
Vibração da amostra<300 nm padrão, <30 nm com opção de amortiguação PS-PVIS
Configuração da sonda
Número máximo de sondas6
Termômetro do braço da sondaTemperatura para o monitoramento do braço da sonda
Suporte de sonda de refrigeração< 20 K (amostra à temperatura de base)
Suporte da sondaConecte uma mesa de amostras ou uma tela anti-radiação 4K
Braço de sondaConecte a tela anti-radiação
Sondas DC/RFIsolamento elétrico > 100GΩ para medição de baixa corrente de vazamento
Sondas de microondasFaixa de frequência de DC a 67GHz
Sonda de fibra ópticaPode ser usado para medição eletrônica
Alcance da agulhaTodas as sondas estão disponíveis com uma agulha circular de 25,4 mm de diâmetro