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No. 5500, estrada Yuanjiang, distrito de Minhang, Xangai
Shanghai Maikewei Semiconductor Technology Co., Ltd
No. 5500, estrada Yuanjiang, distrito de Minhang, Xangai
O CRX-6.5K combina a conveniência de operação sem hélio líquido com a confiabilidade dos produtos Lake Shore para oferecer aos usuários uma solução versátil de baixo custo. Utiliza um refrigerador de ciclo fechado independente que pode ser arrefecido até baixas temperaturas sem ajuda. Sua versatilidade e economia tornaram o CRX-6.5K a ferramenta preferida por muitos pesquisadores em todo o mundo.
As medições I-V, C-V e de microondas são padrão no CRX-6.5K. Os refrigeradores de ciclo fechado de dois estágios permitem que as amostras sejam mantidas a temperaturas mais altas durante o processo de resfriamento, reduzindo a possibilidade de condensação da amostra, um requisito fundamental para medir materiais orgânicos.
O CRX-6.5K funciona na faixa de temperaturas de 8 K a 350 K e tem a opção de expandir a faixa de altas temperaturas de 20 K a 675 K. O sistema pode acomodar wafers completos e parciais de até 51 mm de diâmetro. A ampla seleção de sondas, cabos de teste, bancos de amostras e opções permite-lhe atender a uma variedade de aplicações de medição específicas.
Parâmetros do equipamento:
| Faixa de temperatura | |
| Instalação de dois braços de sonda | Temperatura de base 8 K, faixa de controle 8,5 K ~ 350 K |
| Instalação de 4 braços de sonda | Temperatura de base 9 K, faixa de controle 9,5 K a 350 K |
| Instalação de 6 braços de sonda | Temperatura de base 10 K, faixa de controle 10,5 K ~ 350 K |
| Instalação da opção PS-HTSTAGE (incompatível com a pressão de volta da amostra) | Temperatura de base 20 K, faixa de controle 20 K a 675 K |
| Estabilidade de temperatura | |
| Temperatura de base (sem controle de aquecimento) | não especificado |
| <10 K | ±25 mK |
| 11 K ~ 350 K | ± 10 mK |
| 351 K ~ 675 K | ±50 mK |
| Vácuo | |
| Temperatura ambiente | <5×10-4Voltar |
| Temperatura de base | <1×10-5Voltar |
| temperatura máxima | <5×10-5Voltar |
| Tempo de ciclo | |
| Ciclo total | 6.25 h |
| Pumpar vácuo | 0.5 h |
| Refrigeração da sonda | 3.5 h |
| Aquecimento da sonda | 2.25 h |
| amostras | |
| Tamanho máximo | 51 mm (2 polegadas) |
| Interface de iluminação de amostra | Não opcional |
| Rotação da amostra | Não opcional |
| Vibração da amostra | <2 μm |
| Configuração da sonda | |
| Número máximo de sondas | 6 |
| Termômetro do braço da sonda | Temperatura para o monitoramento do braço da sonda |
| Suporte de sonda de refrigeração | < 20 K (amostra à temperatura de base) |
| Suporte da sonda | Conecte a mesa de amostras de afundamento quente |
| Braço de sonda | Conecte a tela anti-radiação |
| Sondas DC/RF | Isolamento elétrico > 100GΩ para medição de baixa corrente de vazamento |
| Sondas de microondas | Faixa de frequência de DC a 67GHz |
| Sonda de fibra óptica | Pode ser usado para medição eletrônica |
| Alcance da agulha | Todas as sondas estão disponíveis com uma agulha circular de 25,4 mm (1 polegada) de diâmetro |