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Shanghai Maikewei Semiconductor Technology Co., Ltd
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Sonda de baixa temperatura sem hélio líquido/4 polegadas

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O CRX-6.5K combina a conveniência de operação sem hélio líquido com a confiabilidade dos produtos Lake Shore para oferecer aos usuários uma solução versátil de baixo custo.

Detalhes do produto

O CRX-6.5K combina a conveniência de operação sem hélio líquido com a confiabilidade dos produtos Lake Shore para oferecer aos usuários uma solução versátil de baixo custo. Utiliza um refrigerador de ciclo fechado independente que pode ser arrefecido até baixas temperaturas sem ajuda. Sua versatilidade e economia tornaram o CRX-6.5K a ferramenta preferida por muitos pesquisadores em todo o mundo.

As medições I-V, C-V e de microondas são padrão no CRX-6.5K. Os refrigeradores de ciclo fechado de dois estágios permitem que as amostras sejam mantidas a temperaturas mais altas durante o processo de resfriamento, reduzindo a possibilidade de condensação da amostra, um requisito fundamental para medir materiais orgânicos.

O CRX-6.5K funciona na faixa de temperaturas de 8 K a 350 K e tem a opção de expandir a faixa de altas temperaturas de 20 K a 675 K. O sistema pode acomodar wafers completos e parciais de até 51 mm de diâmetro. A ampla seleção de sondas, cabos de teste, bancos de amostras e opções permite-lhe atender a uma variedade de aplicações de medição específicas.


Parâmetros do equipamento:


Faixa de temperatura
Instalação de dois braços de sonda Temperatura de base 8 K, faixa de controle 8,5 K ~ 350 K
Instalação de 4 braços de sonda Temperatura de base 9 K, faixa de controle 9,5 K a 350 K
Instalação de 6 braços de sonda Temperatura de base 10 K, faixa de controle 10,5 K ~ 350 K
Instalação da opção PS-HTSTAGE (incompatível com a pressão de volta da amostra) Temperatura de base 20 K, faixa de controle 20 K a 675 K
Estabilidade de temperatura
Temperatura de base (sem controle de aquecimento) não especificado
<10 K ±25 mK
11 K ~ 350 K ± 10 mK
351 K ~ 675 K ±50 mK
Vácuo
Temperatura ambiente <5×10-4Voltar
Temperatura de base <1×10-5Voltar
temperatura máxima <5×10-5Voltar
Tempo de ciclo
Ciclo total 6.25 h
Pumpar vácuo 0.5 h
Refrigeração da sonda 3.5 h
Aquecimento da sonda 2.25 h
amostras
Tamanho máximo 51 mm (2 polegadas)
Interface de iluminação de amostra Não opcional
Rotação da amostra Não opcional
Vibração da amostra <2 μm
Configuração da sonda
Número máximo de sondas 6
Termômetro do braço da sonda Temperatura para o monitoramento do braço da sonda
Suporte de sonda de refrigeração < 20 K (amostra à temperatura de base)
Suporte da sonda Conecte a mesa de amostras de afundamento quente
Braço de sonda Conecte a tela anti-radiação
Sondas DC/RF Isolamento elétrico > 100GΩ para medição de baixa corrente de vazamento
Sondas de microondas Faixa de frequência de DC a 67GHz
Sonda de fibra óptica Pode ser usado para medição eletrônica
Alcance da agulha Todas as sondas estão disponíveis com uma agulha circular de 25,4 mm (1 polegada) de diâmetro